中圖白光干涉儀滿足企業(yè)多維度3D形貌檢測(cè)，憑借0.1nm縱向分辨率的優(yōu)勢(shì)，成為超光滑樣品3D形貌精準(zhǔn)測(cè)量的核心裝備，廣泛適配超精密制造多行業(yè)核心檢測(cè)場(chǎng)景，且與共聚焦顯微鏡形成互補(bǔ)，共同構(gòu)建起覆蓋全類型樣品的專業(yè)顯微測(cè)量產(chǎn)品線，滿足企業(yè)多維度檢測(cè)需求！

應(yīng)用場(chǎng)景

1.光通信領(lǐng)域

白光干涉儀可對(duì)800G/1.6T光模塊核心的微透鏡陣列完成高保真3D形貌重構(gòu)，精準(zhǔn)捕捉曲率半徑、矢高等關(guān)鍵參數(shù)，為光路耦合效率把控提供數(shù)據(jù)支撐；

2.半導(dǎo)體行業(yè)

針對(duì)晶圓減薄后的超光滑表面，能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)3D形貌測(cè)量，清晰還原表面微觀幾何特征，助力拋光工藝優(yōu)化；3C電子領(lǐng)域，可對(duì)手機(jī)玻璃屏、透明光學(xué)配件做3D形貌檢測(cè)，精準(zhǔn)提取劃痕、凹坑等瑕疵的三維尺寸；

3.光學(xué)加工領(lǐng)域

適配透明光學(xué)膜片、光學(xué)透鏡等光滑器件的3D形貌重建，完整呈現(xiàn)表面平整度、曲率等形貌信息。

針對(duì)白光干涉儀難以覆蓋的陡、糙、暗類樣品，中圖儀器顯微產(chǎn)品線中的共聚焦顯微鏡可承接，其71.8°可測(cè)傾角能還原大陡壁復(fù)雜結(jié)構(gòu)，弱光信號(hào)解析能力適配低反射率、粗糙表面的3D形貌測(cè)量，光伏行業(yè)太陽(yáng)能電池板絨面金字塔結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體劃片工藝的激光鐳射槽均能精準(zhǔn)檢測(cè)。同時(shí)產(chǎn)品線還推出WT3000白光干涉+共聚焦二合一機(jī)型，一次裝夾即可完成光滑面與復(fù)雜結(jié)構(gòu)的3D形貌全測(cè)量，真正實(shí)現(xiàn)超精密制造全場(chǎng)景檢測(cè)覆蓋。

技術(shù)參數(shù)

白光干涉儀以硬核技術(shù)參數(shù)鑄就超光滑樣品3D形貌測(cè)量的納米級(jí)精度，其與共聚焦顯微鏡組成的顯微測(cè)量產(chǎn)品線，各展技術(shù)優(yōu)勢(shì)又形成協(xié)同，二合一機(jī)型更是實(shí)現(xiàn)技術(shù)融合，成為超精密制造3D形貌全維度測(cè)量的方案！

1.白光干涉儀

· 核心基于光的干涉定位原理，搭載白光LED光源，縱向分辨率高達(dá)0.1nm，且該精度不隨物鏡倍率衰減，低倍物鏡下仍能保持納米級(jí)3D形貌測(cè)量能力，是大面積超光滑樣品檢測(cè)的核心優(yōu)勢(shì)；

· 通過(guò)Z向逐層掃描與像素點(diǎn)光強(qiáng)擬合算法，精準(zhǔn)鎖定零級(jí)干涉條紋位置，將其轉(zhuǎn)化為相對(duì)高度數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)樣品3D形貌的高保真重構(gòu)，可清晰還原Sa0.2nm級(jí)別超光滑表面的微觀形貌特征，支持大圖無(wú)縫拼接功能，輕松完成大尺寸樣品的全表面3D形貌測(cè)量，還配備自動(dòng)化模塊，實(shí)現(xiàn)Mark點(diǎn)自動(dòng)識(shí)別、位置糾偏，完成數(shù)萬(wàn)個(gè)微透鏡單元的3D形貌批量檢測(cè)。

2.共聚焦顯微鏡

基于共軛共焦技術(shù)與針孔濾光設(shè)計(jì)，結(jié)合弱光信號(hào)解析算法，對(duì)低反射率樣品3D形貌測(cè)量適配性強(qiáng)，可測(cè)傾角達(dá)71.8°，能完整重建大陡壁復(fù)雜結(jié)構(gòu)的3D形貌，配備真彩相機(jī)可輸出3D真彩形貌圖像，且無(wú)需氣浮隔振臺(tái)，抗振性強(qiáng)。

3.WT3000二合一機(jī)型（復(fù)合式光學(xué)3D表面輪廓儀）

將兩套光學(xué)系統(tǒng)集成于電動(dòng)機(jī)座，通過(guò)5孔電動(dòng)物鏡塔臺(tái)實(shí)現(xiàn)一鍵模式切換，白光模式測(cè)超光滑3D形貌，共聚焦模式測(cè)復(fù)雜結(jié)構(gòu)3D形貌，一次裝夾完成全維度測(cè)量，兩款設(shè)備均為光學(xué)非接觸式無(wú)損檢測(cè)，可測(cè)3D形貌、粗糙度、臺(tái)階高等核心參數(shù)，兼容ISO/ASME等國(guó)內(nèi)外檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

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