以白光干涉光學(xué)3D測(cè)量?jī)x為核心的3D形貌測(cè)量方案，兼具高性價(jià)比與全流程成本控制優(yōu)勢(shì)，且其與共聚焦顯微鏡組成的顯微測(cè)量產(chǎn)品線，能為企業(yè)提供靈活的采購(gòu)選擇，從單臺(tái)適配到組合采購(gòu)，降低企業(yè)檢測(cè)設(shè)備投入與使用成本！

1.白光干涉儀聚焦超光滑樣品3D形貌測(cè)量，縱向0.1nm分辨率的精度無(wú)需搭配高倍率物鏡即可實(shí)現(xiàn)，低倍下仍能保持納米級(jí)測(cè)量能力，結(jié)合大圖無(wú)縫拼接功能，大幅提升大面積樣品3D形貌檢測(cè)效率，減少人工成本；

2.設(shè)備為一站式3D形貌測(cè)量設(shè)計(jì)，可同步完成粗糙度、臺(tái)階高、輪廓尺寸等參數(shù)檢測(cè)，一臺(tái)替代多款專用納米級(jí)檢測(cè)設(shè)備，無(wú)隱形消費(fèi)，標(biāo)配核心部件無(wú)需額外采購(gòu)。而顯微測(cè)量產(chǎn)品線的組合采購(gòu)模式更具成本優(yōu)勢(shì)，企業(yè)可根據(jù)檢測(cè)需求，搭配選購(gòu)白光干涉儀與共聚焦顯微鏡，享專屬組合采購(gòu)優(yōu)惠，比單獨(dú)采購(gòu)兩臺(tái)設(shè)備更劃算；

3.若企業(yè)有全場(chǎng)景檢測(cè)需求，直接選購(gòu)顯微產(chǎn)品線中的WT3000二合一機(jī)型，可省去兩臺(tái)設(shè)備的采購(gòu)?fù)度?，同時(shí)節(jié)省設(shè)備擺放的場(chǎng)地成本，且一次裝夾完成全類型樣品3D形貌測(cè)量，大幅降低人工操作與樣品調(diào)試成本。

技術(shù)參數(shù)

白光干涉光學(xué)3D測(cè)量?jī)x以硬核技術(shù)參數(shù)鑄就超光滑樣品3D形貌測(cè)量的納米級(jí)精度，其與共聚焦顯微鏡組成的顯微測(cè)量產(chǎn)品線，各展技術(shù)優(yōu)勢(shì)又形成協(xié)同，二合一機(jī)型更是實(shí)現(xiàn)技術(shù)融合，成為超精密制造3D形貌全維度測(cè)量的方案！

1.白光干涉儀

· 核心基于光的干涉定位原理，搭載白光LED光源，縱向分辨率高達(dá)0.1nm，且該精度不隨物鏡倍率衰減，低倍物鏡下仍能保持納米級(jí)3D形貌測(cè)量能力，是大面積超光滑樣品檢測(cè)的核心優(yōu)勢(shì)；

· 通過(guò)Z向逐層掃描與像素點(diǎn)光強(qiáng)擬合算法，精準(zhǔn)鎖定零級(jí)干涉條紋位置，將其轉(zhuǎn)化為相對(duì)高度數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)樣品3D形貌的高保真重構(gòu)，可清晰還原Sa0.2nm級(jí)別超光滑表面的微觀形貌特征，支持大圖無(wú)縫拼接功能，輕松完成大尺寸樣品的全表面3D形貌測(cè)量，還配備自動(dòng)化模塊，實(shí)現(xiàn)Mark點(diǎn)自動(dòng)識(shí)別、位置糾偏，完成數(shù)萬(wàn)個(gè)微透鏡單元的3D形貌批量檢測(cè)。

2.共聚焦顯微鏡

基于共軛共焦技術(shù)與針孔濾光設(shè)計(jì)，結(jié)合弱光信號(hào)解析算法，對(duì)低反射率樣品3D形貌測(cè)量適配性強(qiáng)，可測(cè)傾角達(dá)71.8°，能完整重建大陡壁復(fù)雜結(jié)構(gòu)的3D形貌，配備真彩相機(jī)可輸出3D真彩形貌圖像，且無(wú)需氣浮隔振臺(tái)，抗振性強(qiáng)。

3.WT3000二合一機(jī)型（復(fù)合式光學(xué)3D表面輪廓儀）

將兩套光學(xué)系統(tǒng)集成于電動(dòng)機(jī)座，通過(guò)5孔電動(dòng)物鏡塔臺(tái)實(shí)現(xiàn)一鍵模式切換，白光模式測(cè)超光滑3D形貌，共聚焦模式測(cè)復(fù)雜結(jié)構(gòu)3D形貌，一次裝夾完成全維度測(cè)量，兩款設(shè)備均為光學(xué)非接觸式無(wú)損檢測(cè)，可測(cè)3D形貌、粗糙度、臺(tái)階高等核心參數(shù)，兼容ISO/ASME等國(guó)內(nèi)外檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

中圖儀器整個(gè)顯微測(cè)量?jī)x產(chǎn)品線設(shè)備均為光學(xué)非接觸式設(shè)計(jì)，核心部件耐用性強(qiáng)，后期維修保養(yǎng)成本低，批量采購(gòu)還可享定制化報(bào)價(jià)，實(shí)實(shí)在在為企業(yè)節(jié)省全生命周期檢測(cè)成本。

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