【全場景適配】SuperView WT3000白光干涉共聚焦輪廓儀 超精密3D形貌檢測全覆蓋

深圳市中圖儀器自研的SuperView WT3000系列白光共聚焦輪廓儀，是亞納米級非接觸式3D檢測核心設(shè)備，可覆蓋全行業(yè)超精密加工與科研檢測需求。

設(shè)備兼容半導(dǎo)體制造/封裝、3C電子玻璃屏、光學(xué)元器件、微納材料、MEMS器件、汽車零部件、航空航天、科研院所等全領(lǐng)域場景，可測超光滑→粗糙、低反射→高反射、透明→黑色全類型材質(zhì)表面，精準(zhǔn)輸出粗糙度、平整度、微觀輪廓、曲率、臺階高度等300+項2D/3D參數(shù)，符合ISO/ASME/EUR/GBT四大國際國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)，一站式解決各類精密器件表面形貌檢測難題。

WT3000白光干涉共聚焦輪廓儀 核心技術(shù)參數(shù)詳解

SuperView WT3000系列融合白光干涉+共聚焦雙技術(shù)，實現(xiàn)超精密3D形貌測量：

1. 雙模式高精度：白光干涉模式粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm、形貌重復(fù)性0.1nm；共聚焦模式可測近90°尖銳傾角，臺階測量重復(fù)性12nm；

2. 硬件配置：1024×1024黑白影像系統(tǒng)，5孔電動物鏡塔臺，WT3000 XY行程100×100mm、WT3200達200×200mm，Z軸掃描范圍10mm；

3. 穩(wěn)定防護：氣浮隔振底座、鏡頭雙重防撞、光源休眠保護，環(huán)境噪聲3σ≤4nm，適配VC-C級振動環(huán)境；

4. 軟件功能：支持自動拼接、編程測量、批量分析，可導(dǎo)出Word/Excel/PDF報表，覆蓋300+項檢測參數(shù)。

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注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實際交付為準(zhǔn)，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。