
【全場景適配】SuperView WT3000白光干涉共聚焦輪廓儀 超精密3D形貌檢測全覆蓋
深圳市中圖儀器自研的SuperView WT3000系列白光共聚焦輪廓儀,是亞納米級非接觸式3D檢測核心設(shè)備,可覆蓋全行業(yè)超精密加工與科研檢測需求。
設(shè)備兼容半導(dǎo)體制造/封裝、3C電子玻璃屏、光學(xué)元器件、微納材料、MEMS器件、汽車零部件、航空航天、科研院所等全領(lǐng)域場景,可測超光滑→粗糙、低反射→高反射、透明→黑色全類型材質(zhì)表面,精準(zhǔn)輸出粗糙度、平整度、微觀輪廓、曲率、臺階高度等300+項2D/3D參數(shù),符合ISO/ASME/EUR/GBT四大國際國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn),一站式解決各類精密器件表面形貌檢測難題。

WT3000白光干涉共聚焦輪廓儀 核心技術(shù)參數(shù)詳解
SuperView WT3000系列融合白光干涉+共聚焦雙技術(shù),實現(xiàn)超精密3D形貌測量:
1. 雙模式高精度:白光干涉模式粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm、形貌重復(fù)性0.1nm;共聚焦模式可測近90°尖銳傾角,臺階測量重復(fù)性12nm;
2. 硬件配置:1024×1024黑白影像系統(tǒng),5孔電動物鏡塔臺,WT3000 XY行程100×100mm、WT3200達200×200mm,Z軸掃描范圍10mm;
3. 穩(wěn)定防護:氣浮隔振底座、鏡頭雙重防撞、光源休眠保護,環(huán)境噪聲3σ≤4nm,適配VC-C級振動環(huán)境;
4. 軟件功能:支持自動拼接、編程測量、批量分析,可導(dǎo)出Word/Excel/PDF報表,覆蓋300+項檢測參數(shù)。
如需產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)案例手冊或免費樣品測試,可聯(lián)系客服獲取。
注:產(chǎn)品參數(shù)與配置以實際交付為準(zhǔn),中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利,恕不另行通知。




































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