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TuoTuo Technology無掩模光刻機

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  • 品牌其他品牌
  • 所在地蘇州市
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2017年創(chuàng)立以來,托托科技始終深耕于精密光學(xué)儀器的研發(fā)和制造。公司憑借在微納光學(xué)加工及檢測領(lǐng)域的深厚積淀,打造了覆蓋無掩模光刻、高精度3D光刻、磁學(xué)檢測、光電檢測及3D顯微鏡五大核心產(chǎn)品線的技術(shù)矩陣,構(gòu)建了設(shè)計、研發(fā)、制造、銷售及咨詢服務(wù)的全鏈條生態(tài)體系,以綜合實力持續(xù)為行業(yè)提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

依托前沿技術(shù)與細(xì)致化設(shè)計,托托科技通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新,積極推動光電子技術(shù)從實驗室走向產(chǎn)業(yè)化落地,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、清潔能源、消費電子、精密制造等關(guān)鍵領(lǐng)域。托托科技致力于為各行各業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供高精度、高效率的光學(xué)解決方案,助力產(chǎn)業(yè)升級與突破。

Founded in 2017, TuoTuo Technology has always been committed to the development of high-end precision optical instruments. With a solid foundation in Micro and Nano  optical processing and detection, the company has developed an advanced technology matrix covering five core product lines: maskless lithography, high-precision 3D lithography, magnetic detection, photoelectric detection, and 3D microscopes. It has also established a full-chain ecosystem for design, R & D, manufacturing, sales, and consulting services, continuously providing the industry with high-quality products and services through its outstanding comprehensive strength.


Relying on cutting-edge technology and meticulous design, TuoTuo Technology actively promotes the industrialization of photo-electronic technology through continuous innovation. Its products are widely used in key areas such as semiconductor, biomedicine, clean energy, consumer electronics, and precision manufacturing. TuoTuo Technology is dedicated to providing high-precision and high -efficiency optical solutions for the high-quality development of various industries, helping to drive industrial upgrades and breakthroughs.


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客戶成果丨新加坡國立大學(xué)《Nature Materials》:TuoTuo Technology無掩模光刻機助力團(tuán)隊實現(xiàn)高性能AlScN電場驅(qū)動相變存儲器
TuoTuo Technology無掩模光刻機 產(chǎn)品詳情

客戶成果丨新加坡國立大學(xué)《Nature Materials》:TuoTuo Technology無掩模光刻機助力團(tuán)隊實現(xiàn)高性能AlScN電場驅(qū)動相變存儲器

近日,新加坡國立大學(xué)陳景升課題組聯(lián)合浙江大學(xué)田鶴課題組在新型非易失存儲器領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。相關(guān)成果以“A nitride-based non-volatile memory enabled by electric-field-induced phase transition”為題發(fā)表在國際期刊 Nature Materials 上。TuoTuo Technology無掩模光刻機

一、研究背景與創(chuàng)新點

隨著人工智能、大數(shù)據(jù)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,信息存儲與處理對低功耗、高速度和高可靠性的要求日益提升。傳統(tǒng)存儲器面臨“存儲墻”問題,亟需發(fā)展新型非易失存儲技術(shù)。本工作基于AlScN材料體系,提出了一種電場驅(qū)動相變存儲器。該器件實現(xiàn)了超低工作電壓 (<0.3 V)、超快擦寫速度 (~3 ns)、超低能耗 (fJ/bit級)以及高溫環(huán)境下穩(wěn)定運行。更重要的是,該工作揭示了一種全新的電場誘導(dǎo)纖鋅礦-巖鹽相變機制,為下一代高性能存儲器提供了新的設(shè)計思路。


二、研究內(nèi)容與關(guān)鍵結(jié)果

(1)器件基本結(jié)構(gòu)與電學(xué)行為

本研究構(gòu)建了Pt/Al1-xScxN/Pt三明治結(jié)構(gòu)存儲器,通過調(diào)控Sc組分實現(xiàn)優(yōu)異電學(xué)性能。I-V電氣特性測試表明,Sc含量為30%的器件展現(xiàn)出Z低的開關(guān)電壓(<0.3 V),表明其為Sc摻雜水平,其原因是30% Sc恰好處于兩相的熱力學(xué)邊界,相變勢壘Z低

TuoTuo Technology無掩模光刻機

圖1. 不同Sc含量Pt/Al1-xScxN/Pt器件的XRD表征和基本電學(xué)特性。


(2)高性能存儲參數(shù)

通過直流與脈沖測試,器件表現(xiàn)出優(yōu)異的存儲性能,包括超低工作電壓 (<0.3 V),超快寫入/擦除速度(~3 ns)以及單次開關(guān)能耗低至幾十飛焦(fJ)。器件無需forming過程,且器件間一致性高、波動小。


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圖2. Pt/Al0.7Sc0.3N/Pt器件優(yōu)異的存儲特性。


(3) 高溫穩(wěn)定性與可靠性

在高溫環(huán)境(583 K)下,器件仍表現(xiàn)出超過108次循環(huán)壽命;長時間數(shù)據(jù)保持能力(>106 s)以及穩(wěn)定的開關(guān)行為。


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圖3. Pt/Al0.7Sc0.3N/Pt器件高溫電學(xué)性能。


4)原位TEM揭示相變機制

通過原位透射電子顯微鏡(TEM)表征,直接觀察到電場驅(qū)動下AlScN由纖鋅礦相(高阻態(tài))轉(zhuǎn)變?yōu)閹r鹽相(低阻態(tài))。 該機制不同于傳統(tǒng)基于導(dǎo)電細(xì)絲或熱效應(yīng)的存儲機理。此外,該研究還發(fā)現(xiàn)電場誘導(dǎo)相變可能是氮化物鐵電器件中漏電問題的重要來源之一,為理解并優(yōu)化AlScN鐵電存儲器提供了新的物理視角。


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圖4. Al0.7Sc0.3N薄膜內(nèi)可逆相變區(qū)域的原位表征。


該工作通過使用TuoTuo Technology無掩模光刻機完成了所有AlScN器件的制備工作。


三、 作者與合作信息

該工作由新加坡國立大學(xué)陳景升課題組聯(lián)合浙江大學(xué)田鶴課題組完成。新加坡國立大學(xué)曾濤博士(現(xiàn)為東北師范大學(xué)教授)為論文一作,浙江大學(xué)劉中然教授、新加坡國立大學(xué)顧有地博士(現(xiàn)為寧波材料所副研究員)、新加坡國立大學(xué)黨丙杰博士為論文共同一作。新加坡國立大學(xué)陳景升教授、浙江大學(xué)田鶴教授、新加坡國立大學(xué)龔蕭教授為論文通訊作者。本研究還得到了托托科技無掩模紫外光刻機的技術(shù)支持,為器件制備提供了關(guān)鍵技術(shù)保障,助力團(tuán)隊實現(xiàn)高精度實驗器件加工。


四、論文鏈接

doi.org/10.1038/s41563-026-02565-y

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關(guān)鍵詞:電子顯微鏡
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