JKZC-P63.X7一維X向高分辨率壓電納米定位臺 6.8μm

產(chǎn)品介紹：

JKZC-P63.X直驅(qū)壓電平移臺，是一維X軸運(yùn)動高分辨率壓電納米定位臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，壓精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、 1~3維自由組合   2、 位移行程6.8μm              3、亞毫秒響應(yīng)時間

4、 承載0.8kg         5、重復(fù)定位精度可達(dá)納米級      6、真空版本可選

快速響應(yīng)、可選閉環(huán)傳感

JKZC-P63 系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為 AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時間可達(dá) 0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

應(yīng)用實(shí)例：納米切削

JKZC-P63系列三維壓電納米定位臺已廣泛應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺的切削力測試實(shí)驗(yàn)中。

產(chǎn)品應(yīng)用：

1、光纖端面檢測    2、納米壓印     3、  納米計(jì)量    4、微操控   5、納米光刻 

6、干涉法/ 掃描顯微/納米定位     7、 生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù)    8、質(zhì)量保證測試

JKZC-P63系列產(chǎn)品

JKZC-P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運(yùn)動方式可選。小體積易于集成配套。

 技術(shù)參數(shù)：

*立式方向安裝時，其負(fù)載上限取決于具體安裝方向。

尺寸圖