JKZC-P60.Z250 壓電納米定位臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)
1、Z向位移250μm 2、可選閉環(huán)傳感器 3、承載1kg
4、 靜電容量21.6μF 5、真空版本可選
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | JKZC-P60.Z250S | JKZC-P60.Z250K | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)方向 | Z | Z | ||
驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng),1路傳感 | 1路驅(qū)動(dòng) | ||
標(biāo)稱(chēng)行程范圍(0 ~120 V) | 200 | 200 | µm±10% | |
Max.行程范圍(0~150V) | 250 | 250 | µm±10% | |
傳感器類(lèi)型 | SGS | - | ||
分辨率 | 7 | 0.25 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.4 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1 | - | %F.S. | |
空載諧振頻率 | 260 | 260 | Hz±20% | |
承載能力 | 水平安裝 | 1 | 1 | kg |
立式安裝 | 0.05 | 0.05 | ||
倒置安裝 | 0.1 | 0.1 | ||
靜電容量 | 21.6 | 21.6 | μF±10% | |
材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | ||
重量 | 0.4 | 0.4 | kg±20% | |
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺(tái)水平放置安裝,運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺(tái)的上方,運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。 PS:參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向
| 將PZT平臺(tái)立式放置安裝,運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行 PS:存在多種立式安裝方式,技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)承載
| 將PZT平臺(tái)水平放置,但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺(tái)的下方 |
示意圖 | | | |
備注 | 當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí),需注意出線口 | ||
尺寸圖:







































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