運動自由度

X

X

驅動控制

1路驅動，1路傳感

1路驅動

標稱行程范圍（0~+120V）

16

16

μm±10%

Max.行程范圍（0~+150V）

18

18

μm±10%

傳感器類型

SGS

-

閉/開環(huán)分辨率

0.6

0.2

nm

閉環(huán)線性度

0.3

-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

≤15

≤15

μrad

空載諧振頻率

2

2

kHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

8

0.5

ms±20%

承載能力

水平安裝

0.5

0.5

kg

立式安裝

0.1

0.1

倒置安裝

0.5

0.5

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

℃

材質

鋁

鋁

出線長

1.5

1.5

m±10mm

釋義

 將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。

PS：參數(shù)表中承載能力默認方向

 將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行

PS：存在多種立式安裝方式，技術參數(shù)對應承載

將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方

示意圖

備注

當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口