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JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

參考價訂貨量

¥555

≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2026-09-10
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第3年
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量651
  • 人氣值137149
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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制否
JKZC-P63.Z直驅壓電平移臺,是一維Z軸運動高分辨率壓電定位臺,采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性,壓電平移臺在精密定位領域中發(fā)揮著重要的作用。
JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺 產(chǎn)品詳情

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電
納米定位臺 6.8μm

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

 

產(chǎn)品介紹

JKZC-P63.Z直驅壓電平移臺,是一維Z軸運動高分辨率壓電定位臺,采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性,壓電平移臺在精密定位領域中發(fā)揮著重要的作用。

產(chǎn)品特點

1、 1~3維自由組合            2、位移行程6.8μm        3、亞毫秒響應時間

4、承載0.8kg                    5、重復定位精度可達納米級      6、真空版本可選


JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

 

  

快速響應、可選閉環(huán)傳感

JKZC-P63 系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng),是為 AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應用而設計的,具有超低慣性,響應時間可達 0.3ms,可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率高速掃描。

應用實例:納米切削

JKZC-P63系列三維壓電納米定位臺已廣泛應用于基于SEM在線納米切削平臺的切削力測試實驗中。

 

 

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺


JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

 

產(chǎn)品應用

1、 光纖端面檢測     2、納米壓印         3、 納米計量  

4、微操控           5、納米光刻          6、干涉法/ 掃描顯微/納米定位

7、 生物技術/半導體技術      8、質量保證測試

JKZC-P63系列產(chǎn)品

JKZC-P63系列壓電納米定位臺,包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運動方式可選。小體積易于集成配套。

 

 


 

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

技術參數(shù)

型號

尾綴S-閉環(huán)

尾綴K-開環(huán)

JKZC-P63.Z7S

JKZC-P63.Z7K

單位

運動自由度

Z

Z


驅動控制

1路驅動,1路傳感

1路驅動


標稱行程范圍(0~120V)

5.5

5.5

μm±10%

Max.行程范圍(0~150V)

6.8

6.8

μm±10%

傳感器類型

SGS

-


閉/開環(huán)分辨率

0.2

0.1

nm

閉環(huán)線性度

0.4

-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.2

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<5

<5

μrad

推/拉力

12/2

12/2

N

運動方向剛度

2

2

N/μm±20%

空載諧振頻率

2.5

2.5

kHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

1.5

0.3

ms±20%

閉環(huán)空載

工作頻率

10%行程

1000

1000

Hz±20%

100%行程

200

200

承載能力

水平安裝

0.8

0.8

kg

立式安裝

0.05*

0.05*

kg

立式安裝

0.05

0.05

kg

靜電容量

0.8

0.8

μF±20%

材質

鋁

鋁


重量

70

70

g±5%

*立式方向安裝時,其負載上限取決于具體安裝方向。

 

 

 

安裝方向

水平安裝

立式安裝

倒置安裝

釋義

 將PZT平臺水平放置安裝,運動面位于PZT平臺的上方,運動面與水平面平行。

PS:參數(shù)表中承載能力默認方向

 

 將PZT平臺立式放置安裝,運動面與重力方向平行

PS:存在多種立式安裝方式,技術參數(shù)對應承載

 

將PZT平臺水平放置,但運動面位于定位臺的下方

示意圖

 JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

 JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

 JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

備注

當安裝方式選擇為立式安裝時,需注意出線口

 

尺寸圖

JKZC-P63.Z7一維Z向高分辨率壓電納米定位臺

 


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