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公司介紹主營產(chǎn)品

新耕（上海）貿(mào)易有限公司是一家為半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、觸控面板等光電通訊行業(yè)供應(yīng)設(shè)備與材料的代理商。我們提供給客戶泛的產(chǎn)品選擇，量測設(shè)備、清洗設(shè)備，分析儀器，我們所提供的設(shè)備、材料以及服務(wù)的范圍和質(zhì)量都是無二的。

新耕（上海）貿(mào)易有限公司一貫秉承，精益求精的宗旨，力求做到。我們始終以開放的溝通，優(yōu)秀的售前和售后支持，和專業(yè)水平高發(fā)展和維持著與客戶長期穩(wěn)定的良好合作關(guān)系?？蛻舻恼J(rèn)可是對新耕的獎賞。

新耕的使命是矢志提供質(zhì)的服務(wù)給所有客戶，持續(xù)成為設(shè)備及服務(wù)的首要供貨商。無論何種設(shè)備、技術(shù)咨詢、行業(yè)咨詢，新耕都有超過20年的專業(yè)經(jīng)驗。如果您對我們設(shè)備由興趣，或有任何問題，請聯(lián)絡(luò)我們，我們將有專業(yè)人士為您提供協(xié)助。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

D-500探針式輪廓儀

D-500探針式輪廓儀產(chǎn)品詳情

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要技術(shù)參數(shù)

1.臺階高度：幾納米至1200μm
2.低觸力：0.03至15mg
3.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
4.梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
6.緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
7.軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

1.臺階高度：2D臺階高度
2.紋理：2D粗糙度和波紋度
3.形式：2D翹曲和形狀
4.應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域

1.大學(xué)，研究實驗室和研究所

2.半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
3.SIMS：二次離子質(zhì)譜
4.LED：發(fā)光二極管
5.太陽能
6.MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
7.汽車
8.醫(yī)療設(shè)備

實例展示

臺階高度

紋理：粗糙度和波紋度

形式：翹曲和形狀

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-500能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。

Alpha-Step D-500 Stylus Profiler 選項可供選擇，配合您的新產(chǎn)品，或后續(xù)使用。

探針選項

Alpha-Step D-500有多種探針可用于支持臺階高度、高縱橫比步長、粗糙度、樣品翹曲和應(yīng)力的測量。探針半徑范圍從100nm到50μm，并決定了測量的橫向分辨率。夾角范圍為20到100度，決定了測量特征的縱橫比。所有探針均采用金剛石制造，以減少磨損并延長探針的使用壽命。

樣品卡盤

Alpha-Step D-500具有一系列可用于支持應(yīng)用要求的卡盤。標(biāo)準(zhǔn)卡盤為鍍鎳鋁卡盤，可以處理至140mm的樣品。一個扁平的黑色卡盤可用于透明樣品，限度地減少卡盤表面的反光。并且提供通用的真空卡盤并包括用于50mm至125mm樣品的精密定位銷。標(biāo)準(zhǔn)和通用卡盤均支持應(yīng)力測量，并使用3點(diǎn)定位器將樣品保持在中性位置，進(jìn)行精確的翹曲度測量。

隔離工作臺

Alpha-Step D-500具有桌面和獨(dú)立隔離臺選項。 Granite Isolator^™系列提供桌面隔離系統(tǒng)，將花崗巖與高級硅凝膠結(jié)合在一起，提供被動隔離。 Onyz系列桌面隔離系統(tǒng)使用氣動空氣隔離裝置來提供被動隔離。 TMC 63-500系列隔離臺是一個獨(dú)立的鋼架工作臺，使用氣動空氣隔離裝置提供被動隔離。

臺階高度標(biāo)準(zhǔn)

Alpha-Step D-500采用VLSI標(biāo)準(zhǔn)提供的薄膜和厚膜NIST可追蹤臺階高度標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)提供安裝在石英塊上的硅芯片上的氧化物臺階功能。臺階高度的測量范圍是8nm至250μm。

Apex分析軟件

Apex分析軟件通過水平、過濾、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件，增強(qiáng)了D-500的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計算方法以及例如ASME的本地標(biāo)準(zhǔn)。 Apex還可用作報告編寫平臺，具有添加文本、注釋和是/否合格的功能。 Apex有八種語言的版本。

離線分析軟件

Alpha-Step D-500離線軟件具有與設(shè)備軟件相同的數(shù)據(jù)分析功能。這使用戶無需使用寶貴的設(shè)備時間即可進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。

關(guān)鍵詞：輪廓儀二次離子質(zhì)譜發(fā)光二極管標(biāo)準(zhǔn)

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