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計量原子力顯微鏡可掃描多個行業(yè)復雜納米結(jié)構(gòu)

行業(yè)應(yīng)用 2020年04月09日 10:57:38來源：EURAMET 14934

摘要原子力顯微鏡是一種超高分辨率的掃描探針顯微鏡，能夠測定亞納米或微米級別的樣品表面特征。

　　【儀表網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】納米科技發(fā)展中，納米材料是它的前導，因為納米材料集中體現(xiàn)了小尺寸、復雜結(jié)構(gòu)、高集成度和強相互作用以及高比表面積等現(xiàn)代科學技術(shù)發(fā)展的特點，其中應(yīng)該指出的是納米材料是將量子力學效應(yīng)工程化或技術(shù)化的好場合之一，可能會產(chǎn)生全新的物理、化學現(xiàn)象。而納米結(jié)構(gòu)較為復雜。

　　原子力顯微鏡是一種超高分辨率的掃描探針顯微鏡，能夠測定亞納米或微米級別的樣品表面特征。近日，歐洲計量創(chuàng)新與研究計劃(EMPIR)的項目“制造3D堆疊集成電路的計量”及其后續(xù)項目“可溯源的三維納米計量學”研發(fā)出了較快的計量原子力顯微鏡可用于復雜納米結(jié)構(gòu)進行完整掃描。

　　這是與研發(fā)的德國聯(lián)邦物理研究院(PTB) 3D納米計量工作組負責人認為的，該原子力顯微鏡能夠?qū)?yīng)用于半導體、納米光學、納米材料、生物科學等各個行業(yè)的復雜納米結(jié)構(gòu)進行完整掃描。該項目成果極大地擴展了傳統(tǒng)原子力顯微鏡技術(shù)的性能，使其范圍更廣，準確性更高，速度更快，為應(yīng)對工業(yè)挑戰(zhàn)提供了獨特的計量解決方案。

　　該項目研發(fā)的顯微鏡由一個末端有尖探針的懸臂組成，能夠“感覺到”或接觸到標本的表面結(jié)構(gòu)，就像唱機上的唱針沿著膠片凹槽旋轉(zhuǎn)，并“播放”編碼在槽線中的音樂。此外，這種顯微鏡具有范圍廣、快速和準確的測量能力，可實現(xiàn)高達1 mm / s的掃描速度，可測量25 mm x 25 mm x 5 mm的體積，相當于其它原子力顯微鏡掃描速度的50倍，且測量不確定度低至亞納米級別。

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