WS-PE100/150 倒片機中包含1臺6軸機械手組件,設備前端設有6個Loadport工位,每3個對應1個腔室。設有2個Buffer工位,每個Buffer上可以放19片Wafer對應1個腔室中的4寸Wafer,2個冷卻工位分別對應左右2個腔室。