TCU 精密恒溫恒濕機在基板曝光前可保持基板表面曝光前溫度的均勻性。TCU為一精密溫度控制設備,空氣經由TCU處理后,溫度控制的精度可達目標溫度±0.01℃,此設備可滿足制程環(huán)境更精準的溫控需求,確保產線環(huán)境的穩(wěn)定性及產品的良率。