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預(yù)防霧化單元

  • 預(yù)防霧化單元
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  • 型號(hào) HPU Series
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更新時(shí)間：2025-09-06 07:13:44瀏覽次數(shù)：141評(píng)價(jià)

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HPU Series 預(yù)防霧化單元
HPU Series Hazing Prevent Unit
HPU系列預(yù)防霧化單元應(yīng)用于平板顯示客戶、集成電路客戶的曝光機(jī)鏡面防霧化，祛除吸入曝光機(jī)中的AMC污染物。
設(shè)備特點(diǎn)
  • 為曝光設(shè)備提供精密的溫濕度和超潔凈氣體，大幅提升良率
  • 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)符合人機(jī)功能學(xué)，耗材取換過(guò)程簡(jiǎn)便快捷
  • 溫濕度和風(fēng)量調(diào)節(jié)范圍大，多種組合配方滿足復(fù)雜廠務(wù)需求
產(chǎn)品應(yīng)用
  • 濕度控制精度
    ≤±2%RH
  • 溫度控制精度
    ≤±1℃
  • 適用領(lǐng)域
    主要用于面板廠、晶圓廠、封裝測(cè)試廠的曝光機(jī)鏡面防止霧化去除吸入曝光機(jī)中的酸、堿、VOC和微粒污染物

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