eVictor PVD Al設備是一款應用于12英寸集成電路領域的PVD設備，系統(tǒng)集成了高溫去氣、等離子體預清洗、高溫Al、TaN、TTN等多種工藝模塊，并實現(xiàn)在系統(tǒng)內(nèi)部的工藝整合。涉及大平臺傳輸、高溫靜電卡盤、磁控濺射源設計、厚鋁Whisker Defect控制以及軟件控制等多項關鍵技術。