0.1nm白光干涉儀檢測超精密器件表面全貌

白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、面形輪廓、腐蝕情況、波紋度、平面度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設(shè)備和產(chǎn)品。

5步搞定納米級測量！白光干涉儀讓精密檢測變得簡單安全

很多用戶擔(dān)心光學(xué)儀器操作復(fù)雜、環(huán)境要求苛刻。事實上，現(xiàn)代白光干涉儀通過高度自動化設(shè)計，已經(jīng)將操作門檻降低。

我們致力于為您提供極簡、安全的使用體驗：

1.操作流程標(biāo)準(zhǔn)化：僅需5個關(guān)鍵步驟（定位、環(huán)境監(jiān)測、掃描、處理、分析），即可完成從樣品放置到參數(shù)提取的全過程 。

2.雙重防撞保護：擔(dān)心操作失誤損壞昂貴的鏡頭？設(shè)備配備了ZSTOP軟件限位和鏡頭彈簧彈性回縮雙重功能，確保測量過程安全 。

3.環(huán)境適應(yīng)性強：支持0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，實時監(jiān)控振動 。即使在車間等嘈雜環(huán)境，配合氣浮隔振底座和無油空壓機，也能隔絕干擾，確保數(shù)據(jù)穩(wěn)定 。

4.無憂校準(zhǔn)服務(wù)：出廠配備5μm規(guī)格校準(zhǔn)臺階塊與檢驗報告，支持計量機構(gòu)校準(zhǔn)，確保設(shè)備長期使用精度不漂移 。

大多數(shù)的場景中，只需檢測一個數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，SuperViewW1白光干涉儀的自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量，還支持自動聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

0.1nm白光干涉儀檢測超精密器件表面全貌

產(chǎn)品特點

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。

如需產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)案例手冊或免費樣品測試，可聯(lián)系客服獲取。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實際交付為準(zhǔn)，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。