在微納測量領域，精度就是生命線。中圖國產白光干涉儀生產廠家SuperView W1系列，以白光干涉技術為核心，各項指標均達到行業(yè)水平。

1.重復性：粗糙度RMS重復性可達 0.005nm（依據ISO 25178標準，測量Sa為0.2nm硅晶片）。

2.臺階測量精度：準確度達0.3%，重復性0.08% (1σ)。

3.超高分辨率：Z向掃描范圍10mm，形貌重復性STR達 0.1nm。

4.氣浮隔振：標配氣浮式隔振底座，有效隔離地面振動噪聲，確保每一次微觀測量的精準。

用數據說話，為您的科研與生產提供最嚴謹的數據支撐。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領域

中圖國產白光干涉儀生產廠家SuperView W1系列可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測

立即咨詢！我們提供專業(yè)的應用指導，幫助您發(fā)掘設備的潛力。讓測量變得簡單，是我們對服務的一貫追求。

（注：產品技術參數與配置方案以及服務可能因技術升級調整，具體以實際溝通為準。）