中圖儀器SuperViewW白光干涉儀測(cè)量超光滑表面粗糙度！設(shè)備契合超精密加工領(lǐng)域的多樣化測(cè)量需求，依托白光干涉技術(shù)，可精準(zhǔn)測(cè)量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率各類材質(zhì)的表面粗糙度：

1.在半導(dǎo)體制造及封裝中，能對(duì)硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度做亞納米級(jí)檢測(cè)；

2.3C電子領(lǐng)域可測(cè)玻璃屏、手機(jī)金屬殼模具的粗糙度，精準(zhǔn)識(shí)別微米級(jí)瑕疵帶來(lái)的粗糙度偏差；

3.光學(xué)加工行業(yè)適配各類光學(xué)元件的超光滑表面粗糙度測(cè)量；

4.還能滿足汽車零部件、MEMS器件等精密工件的粗糙度檢測(cè)需求；

一臺(tái)設(shè)備覆蓋多行業(yè)粗糙度測(cè)量場(chǎng)景，適配企業(yè)多品類生產(chǎn)的質(zhì)檢要求。

技術(shù)參數(shù)

1.粗糙度RMS重復(fù)性低至0.005nm，依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)，可提供300余種2D、3D參數(shù)作為粗糙度評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，滿足不同行業(yè)的檢測(cè)合規(guī)要求；

2.依托白光干涉技術(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，單一掃描模式即可完成各類材質(zhì)的表面粗糙度測(cè)量，搭配氣浮式隔振底座與0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能，有效隔離外界振動(dòng)干擾，定量檢測(cè)環(huán)境噪聲，確保粗糙度測(cè)量數(shù)據(jù)的高精度與穩(wěn)定性。

3.W1型號(hào)在0.1nm分辨率下掃描速度達(dá)1.85μm/s，W1-Ultra型號(hào)更提升至8μm/s，快速掃描的同時(shí)保證粗糙度測(cè)量數(shù)據(jù)無(wú)偏差，且設(shè)備可完成粗糙度數(shù)據(jù)的去噪、濾波等處理，支持多格式報(bào)表導(dǎo)出，讓粗糙度測(cè)量更高效、更專業(yè)。

SuperViewW白光干涉儀測(cè)量超光滑表面粗糙度，設(shè)備一臺(tái)多用，單一掃描模式即可完成不同材質(zhì)、不同精度要求的表面粗糙度測(cè)量，避免企業(yè)為不同場(chǎng)景單獨(dú)購(gòu)置檢測(cè)設(shè)備，大幅降低初期設(shè)備投入成本。

如需產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)案例手冊(cè)或免費(fèi)樣品測(cè)試，可聯(lián)系中圖儀器客服獲取。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實(shí)際交付為準(zhǔn)，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級(jí)調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。