Esther E320R 8英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)

參考價(jià): 面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號(hào)EstherE320R
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2430

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類(lèi)智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷(xiāo)服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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EstherE320R8英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)EstherE320R8InchSingleWaferReducedPressureSiliconEpitaxySystemEstherE320R主要用于體硅外延、埋層外延、選擇性外延等多種特色工藝的運(yùn)行

8英寸單片減壓硅外延系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Esther E320R 8英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)

Esther E320R 8 Inch Single Wafer Reduced Pressure Silicon Epitaxy System

Esther E320R主要用于體硅外延、埋層外延、選擇性外延等多種特色工藝的運(yùn)行。該設(shè)備主要由傳輸系統(tǒng)模塊、工藝腔室模塊、壓力控制模塊等組成。精準(zhǔn)的壓力、氣流場(chǎng)與溫場(chǎng)控制，保證了外延片良好的工藝性能，保證成膜質(zhì)量。傳輸模塊可兼容多種晶圓尺寸，同時(shí)滿足多種類(lèi)的工藝需求。

設(shè)備特點(diǎn)

專(zhuān)業(yè)的氣流場(chǎng)和溫度場(chǎng)設(shè)計(jì)，獲得良好的工藝性能
高精度的壓力控制系統(tǒng)，保證成膜質(zhì)量
穩(wěn)定的傳輸和電機(jī)升降系統(tǒng)，保證工藝結(jié)果一致性
友好的人機(jī)交互和全面的安全性設(shè)計(jì)，保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效
具有單腔和多腔兩種機(jī)型，可滿足不同客戶需求

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
6/8英寸兼容
適用材料
硅
適用工藝
體硅外延、埋層外延、選擇性外延
適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：控制模塊控制系統(tǒng)

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