FLOURIS X201H 8英寸立式高溫氧化爐

參考價(jià): 面議

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型號(hào)FLOURISX201H
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2173

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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FLOURISX201H8英寸立式高溫氧化爐FLOURISX201H8InchVerticalHigh-TempOxidationFurnaceFLOURISX201H主要用于8英寸高溫氧化及退火工藝

8英寸立式高溫氧化爐產(chǎn)品詳情

FLOURIS X201H 8英寸立式高溫氧化爐

FLOURIS X201H 8 Inch Vertical High-Temp Oxidation Furnace

FLOURIS X201H主要用于8英寸高溫氧化及退火工藝。該機(jī)臺(tái)為批式熱處理設(shè)備，主要由工藝腔室、傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等組成，具有片內(nèi)均勻性好、自動(dòng)化程度高、系統(tǒng)性能穩(wěn)定的特點(diǎn)，可滿足大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線要求。，可實(shí)現(xiàn)干氧、濕氧和摻氯氧化工藝及退火工藝，支持1200℃高溫氧化工藝。

設(shè)備特點(diǎn)

高精度溫度場(chǎng)控制技術(shù)，1200℃高溫氧化工藝
的顆粒控制技術(shù)
圖形化操作界面和群組管理系統(tǒng)
優(yōu)良的膜厚均勻性控制能力

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8英
適用材料
硅、碳化硅
適用工藝
高/中溫氧化、退火
適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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