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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類(lèi)智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷(xiāo)服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

VERICO6151ASiC高溫氧化爐VERICO6151ASiCHigh-TempOxidatorFurnaceVERICO6151ASiC高溫氧化爐具有無(wú)金屬、抗腐蝕的工藝室及真空密閉的加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)，確保有毒和可燃性氣體安全使用

SiC高溫氧化爐產(chǎn)品詳情

VERIC O6151A SiC高溫氧化爐

VERIC O6151A SiC High-Temp Oxidator Furnace

VERIC O6151A SiC高溫氧化爐具有無(wú)金屬、抗腐蝕的工藝室及真空密閉的加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)，確保有毒和可燃性氣體安全使用。主要應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域中的高溫氧化工藝，支持1500℃持續(xù)高溫氧化工藝，持續(xù)時(shí)間≥10小時(shí)。

設(shè)備特點(diǎn)

溫度可達(dá)1500℃，溫區(qū)均勻性±1℃
膜厚均勻，WIW WTW 和RTR 一致性好
石墨電阻加熱，工藝腔室潔凈
自動(dòng)裝片，Cassette to Cassette
安全設(shè)計(jì)，符合CE/SEMI S6 標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
4/6英寸兼容
適用材料
碳化硅
適用工藝
干氧氧化、濕氧、Ar/N? 退火、NO/N?O 退火、H? 退火、DCE清洗
適用領(lǐng)域
化合物半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
耐磨PVD隔膜閥	面議	上海市	上海凡宜科技電子有限公司	2026-09-20	在線詢價(jià)
流量云平臺(tái)	面議	威海市	威海坤科流量?jī)x表股份有限公司	2026-09-18	在線詢價(jià)
熱量表	面議	寧波市	寧波東海集團(tuán)有限公司	2026-09-16	在線詢價(jià)
平衡流量計(jì) SCPHL	面議	淮安市	江蘇蘇川儀表有限公司	2026-09-16	在線詢價(jià)
GE-PH/T系列PH、ORP水質(zhì)控制器工業(yè)廢水ph計(jì)	面議	天津市	天津津儀儀表科技有限公司	2026-09-12	在線詢價(jià)
AGV48V30AYT鋰電充電機(jī)	面議	上海市	上海冠儀自動(dòng)化科技有限公司	2026-09-04	在線詢價(jià)

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