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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

HORISD12擴(kuò)散系統(tǒng)HORISD12DiffustemHORISD12擴(kuò)散系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶硅電池制作過(guò)程中的硼/磷摻雜、氧化、退火等工藝，該設(shè)備為多管臥式爐管設(shè)備，主要由凈化臺(tái)、爐體機(jī)箱、氣源柜組成，自動(dòng)化機(jī)械手集成在凈化臺(tái)內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)工藝的自動(dòng)運(yùn)行

擴(kuò)散系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

HORIS D12 擴(kuò)散系統(tǒng)

HORIS D12 Diffusion System

HORIS D12擴(kuò)散系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶硅電池制作過(guò)程中的硼/磷摻雜、氧化、退火等工藝，該設(shè)備為多管臥式爐管設(shè)備，主要由凈化臺(tái)、爐體機(jī)箱、氣源柜組成，自動(dòng)化機(jī)械手集成在凈化臺(tái)內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)工藝的自動(dòng)運(yùn)行。

設(shè)備特點(diǎn)

配備自動(dòng)上下料系統(tǒng)，可對(duì)接各類廠家倒片機(jī)，成熟的MES接口經(jīng)驗(yàn)
高精度控溫，源瓶壓力控制，在線工藝調(diào)整
工藝結(jié)果的一致性、穩(wěn)定性優(yōu)良
耐高溫密封，大容積過(guò)濾，自動(dòng)廢液收集，多預(yù)警功能，維護(hù)性和安全性高
3C系統(tǒng)可對(duì)同一工序的所有機(jī)臺(tái)進(jìn)行監(jiān)控及數(shù)據(jù)分析

產(chǎn)品應(yīng)用

適用硅片尺寸
156mm~230mm
裝片量
1600~2880 片/管
單機(jī)臺(tái)管數(shù)
4、5、6、10、12管/系統(tǒng)
溫度范圍
600~1100℃
壓力調(diào)節(jié)范圍
35mbar-ATM連續(xù)可調(diào)
工藝種類
低壓磷/硼擴(kuò)散、常/低壓退火/氧化、常壓退火/氧化、H?退火
適用領(lǐng)域
新能源光伏

關(guān)鍵詞：機(jī)械手

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
熱量表	面議	寧波市	寧波東海集團(tuán)有限公司	2026-09-16	在線詢價(jià)
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