FLOURIS A201 8英寸立式低溫退火爐

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型號FLOURISA201
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2317

產(chǎn)品標簽

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公司介紹主營產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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FLOURISA2018英寸立式低溫退火爐FLOURISA2018InchVerticalLow-TempAnnealFurnaceFLOURISA201主要用于8英寸低溫合金化及退火工藝

8英寸立式低溫退火爐產(chǎn)品詳情

FLOURIS A201 8英寸立式低溫退火爐

FLOURIS A201 8 Inch Vertical Low-Temp Anneal Furnace

FLOURIS A201主要用于8英寸低溫合金化及退火工藝。設(shè)備具有自動化程度高、系統(tǒng)性能穩(wěn)定的特點，可以實現(xiàn)快速升降溫。主要由工藝腔室、傳輸系統(tǒng)、快速降溫系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等組成，可實現(xiàn)銅退火及合金等工藝，微環(huán)境可以進行低氧含量控制。

設(shè)備特點

工藝溫度范圍擴展性良好
溫度恢復(fù)性能優(yōu)良
低溫控制穩(wěn)定性好
系統(tǒng)可維護性好

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8英寸
適用材料
硅、碳化硅
適用工藝
氮氣退火、合金
適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、硅基微型顯示、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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