FLOURIS X201P 8英寸立式中溫氧化爐

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型號FLOURISX201P
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2317

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公司介紹主營產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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FLOURISX201P8英寸立式中溫氧化爐FLOURISX201P8InchVerticalMid-TempOxidationFurnaceFLOURISX201P主要用于8英寸中溫氧化及退火工藝

8英寸立式中溫氧化爐產(chǎn)品詳情

FLOURIS X201P 8英寸立式中溫氧化爐

FLOURIS X201P 8 Inch Vertical Mid-Temp Oxidation Furnace

FLOURIS X201P主要用于8英寸中溫氧化及退火工藝。設(shè)備為批式熱處理設(shè)備，由工藝腔室、傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等組成，具有片內(nèi)均勻性好、自動化程度高、系統(tǒng)性能穩(wěn)定的特點，可滿足大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線要求，可實現(xiàn)常規(guī)氧化及BPSG回流退火等工藝，溫度控制可調(diào)，精度高。

設(shè)備特點

高精度溫度場控制技術(shù)
的顆?？刂萍夹g(shù)
圖形化操作界面和設(shè)備數(shù)據(jù)群組管理系統(tǒng)

產(chǎn)品應用

晶圓尺寸
8英寸
適用材料
硅、碳化硅
適用工藝
干氧氧化、濕氧氧化、DCE氧化、退火
適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導體、化合物半導體、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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