Booster SWA 單片退火系統(tǒng)

參考價(jià): 面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號(hào)BoosterSWA
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2285

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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BoosterSWA單片退火系統(tǒng)BoosterSWASingleWaferAnnealSystemBoosterSWA主要用于12英寸后段金屬互聯(lián)退火工藝

單片退火系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Booster SWA 單片退火系統(tǒng)

Booster SWA Single Wafer Anneal System

Booster SWA主要用于12英寸后段金屬互聯(lián)退火工藝。該機(jī)臺(tái)為多腔集群設(shè)備，能夠進(jìn)行全自動(dòng)并行工藝處理。系統(tǒng)主要由傳輸模塊和3個(gè)工藝模塊組成，其中工藝模塊主要用于Post Etch和Post Cu CMP退火工藝，通過(guò)去除Low-K材料吸附的水汽以恢復(fù)K值，傳輸模塊用于將晶圓安全而準(zhǔn)確地送達(dá)到指定工位。

設(shè)備特點(diǎn)

專業(yè)的雙模式、雙腔式加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)
溫度均勻性和設(shè)備產(chǎn)能高
高速Load-lock，大產(chǎn)能，低運(yùn)營(yíng)成本

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
12英寸
適用工藝
Sub 40nm BEOL 單片退火
適用領(lǐng)域
集成電路

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
耐磨PVD隔膜閥	面議	上海市	上海凡宜科技電子有限公司	2026-09-20	在線詢價(jià)
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