JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺

音圈電機(jī)驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運(yùn)動機(jī)構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)Z軸線性運(yùn)動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。可以實(shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動、兩軸線性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動。

1、典型應(yīng)用

品圓檢測與量測

硅片對準(zhǔn)與定位

顯微操作

視覺伺服

大視場成像

半導(dǎo)體封裝。

芯片與器件測試

光學(xué)對準(zhǔn)與操作

MEMS制造與檢測

激光加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

高精度:音圈電機(jī)具有較高的定位精度和重復(fù)定位精度，可以滿足高精度應(yīng)用的需求。

高響應(yīng)速度:音圈電機(jī)的響應(yīng)速度快，可以快速響應(yīng)控制信號，實(shí)現(xiàn)快速運(yùn)動。

高可靠性:音圈電機(jī)的結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，具有較高的可靠性。

低噪音:音圈電機(jī)的運(yùn)行噪音低，適合在需要低噪音的場合使用。

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

5、適配控制器