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JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺

參考價訂貨量

555

≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2026-04-23
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限3
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量652
  • 人氣值138140
產(chǎn)品標簽

六軸納米掃描臺

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JKZC-ST-6CD六軸納米掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺 產(chǎn)品詳情

JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺

JKZC-ST-6CD六軸納米掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺 


1、典型應用

掃描顯微鏡

生物技術

顯微成像/操縱

干涉測量

超分辨率顯微鏡

掩模/晶圓定位

計量

2、技術特點

亞納米級分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性鉸鏈導向

超高真空兼容性

高速、高動態(tài)

多運動模式:定位/掃描

 3、2D尺寸圖

JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺 


4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-ST-6CD

單位

運動軸

X,Y,Zθx,θY,θZ


驅動類型

壓電陶瓷


XY/Z向上的閉環(huán)行程

200/200/200

μm

θx/θv/θZ向上的閉環(huán)行程

土0.5/土0.5/土0.5

mrad

X/Y/Z向上的閉環(huán)分辨率

1/1/1

nm

θx/θY/θZ向上的閉環(huán)分辨率

0.1/0.1/0.1

μrad

X/Y/Z向上的線性差

0.01

%

θx/θV/θZ向上的線性差

0.1

%

X/Y/Z向上的重復定位精度

5/5/5

nm

θx/θY/θZ向上的重復定位精度

士0.1/士0.1/士0.15

μrad

平面度

15

nm

X/Y/Z向上的空載諧報頻率

110/110/200

HZ

最大負載

5

Kg

傳感器類型

電容傳感器


真空(可選)

超真空兼容(5x10”)

mbar

*真空版型號:JKZC-ST-6CD-HV


5、適配控制器

 JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺


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