JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)
五軸重載荷壓電平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
大口徑鏡頭測(cè)量
大型光機(jī)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)
大幅面干涉測(cè)量
鏡組準(zhǔn)直與穩(wěn)定
納米壓印
顯微成像/操縱
測(cè)量技術(shù)
集成電路檢測(cè)
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點(diǎn)
亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性
納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力
無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
大負(fù)載
空間多白由度
各級(jí)真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-FA" | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)軸 | X,Y,Z, θx,θY, θZ | |
傳感器類型 | 電容式位移傳感器 | |
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | |
XY/Z閉環(huán)行程 | 100/100/40 | μm |
θx/θY閉環(huán)行程 | ±150/±150 | μrad |
X/Y分辨率 | <2 | nm |
Z分辨率 | <1 | nm |
θX/θY分辨率 | <20 | nrad |
X/Y/Z線性度 | 0.03% | |
X/Y/Z重復(fù)定位精度 | <10 | nm |
θX/θY重復(fù)定位精度 | 0.1 | μrad |
平臺(tái)噪聲 | <2 | nm |
最大承載能力 | 35(另有50/100/150/200可選) | kg |
Z諾振頻率@35kg | >100 | HZ |
θx/θY諧擬頻率@35kg | >100 | HZ |
帶載最高工作頻率 | 10 | HZ |
材料 | 鋁合金/鈦合金。 | |
自重 | 12 | kg |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸(LxWxH) | φ475x103中空φ360 | mm |
5、適配控制器




































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