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JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

參考價(jià)訂貨量

555

≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2026-04-23
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限3
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量652
  • 人氣值137815
產(chǎn)品標(biāo)簽

五軸重載荷

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五軸重載荷壓電平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。
JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái) 產(chǎn)品詳情

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

五軸重載荷壓電平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái) 

1、典型應(yīng)用

大口徑鏡頭測(cè)量

大型光機(jī)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)

大幅面干涉測(cè)量

鏡組準(zhǔn)直與穩(wěn)定

納米壓印

顯微成像/操縱

測(cè)量技術(shù)

集成電路檢測(cè)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性

納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

大負(fù)載

空間多白由度

各級(jí)真空兼容性


3、2D尺寸圖

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái) 


4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-ST-FA"

單位

運(yùn)動(dòng)軸

X,Y,Z, θx,θY, θZ


傳感器類型

電容式位移傳感器


驅(qū)動(dòng)類型

壓電陶瓷


XY/Z閉環(huán)行程

100/100/40

μm

θx/θY閉環(huán)行程

±150/±150

μrad

X/Y分辨率

<2

nm

Z分辨率

<1

nm

θX/θY分辨率

<20

nrad

X/Y/Z線性度

0.03%


X/Y/Z重復(fù)定位精度

<10

nm

θX/θY重復(fù)定位精度

0.1

μrad

平臺(tái)噪聲

<2

nm

最大承載能力

35(另有50/100/150/200可選)

kg

Z諾振頻率@35kg

>100

HZ

θx/θY諧擬頻率@35kg

>100

HZ

帶載最高工作頻率

10

HZ

材料

鋁合金/鈦合金。


自重

12

kg

工作溫度

0-50

尺寸(LxWxH)

φ475x103中空φ360

mm


5、適配控制器

 JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)


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