JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)
JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)基于做納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)
納米壓印
罡微成像/操縱
表面檢測(cè)
高密度存儲(chǔ)
則量技術(shù)
表面檢測(cè)
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點(diǎn):
亞納米級(jí)分辨率
超高定位精度
無(wú)摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
超高真空兼容性
高速、高動(dòng)態(tài)
多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描
3、20尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-XY-100 | JKZC-ST-XY-200 | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)觸數(shù) | 2 | ||
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | ||
閉環(huán)行程 | 100x100 | 200x200 | μm |
分辨率 | 0.35 | 0.5 | nm |
最小步長(zhǎng) | 1 | 2 | nm |
無(wú)負(fù)載諧振頻率 | 450 | 350 | Hz |
最大負(fù)載 | 1/5/10/定制 | Kg | |
傳感器類型 | 電容傳感器 | ||
尺寸(LxWxH) | 100x100x21 | 150x150x30 | mm |
白重 | 850 | 1400 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | ||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | |
屏蔽線纜長(zhǎng)度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar | |
真空版型號(hào):NP-OL-Z-HV
5、適配控制器



































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