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JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)

參考價(jià)訂貨量

¥555

≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2026-04-23
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第3年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量652
  • 人氣值138451
產(chǎn)品標(biāo)簽

二維納米定位掃描平臺(tái)

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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn) 加工定制否
JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)基于做納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。
JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái) 產(chǎn)品詳情

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)基于做納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái) 


 1、典型應(yīng)用

光學(xué)對(duì)準(zhǔn)

納米壓印

罡微成像/操縱

表面檢測(cè)

高密度存儲(chǔ)

則量技術(shù)

表面檢測(cè)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn):

亞納米級(jí)分辨率

超高定位精度

無(wú)摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

高速、高動(dòng)態(tài)

多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描

3、20尺寸圖

 JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-ST-XY-100

JKZC-ST-XY-200

單位

運(yùn)動(dòng)觸數(shù)

2

驅(qū)動(dòng)類型

壓電陶瓷


閉環(huán)行程

100x100

200x200

μm

分辨率

0.35

0.5

nm

最小步長(zhǎng)

1

2

nm

無(wú)負(fù)載諧振頻率

450

350

Hz

最大負(fù)載

1/5/10/定制

Kg

傳感器類型

電容傳感器

尺寸(LxWxH)

100x100x21

150x150x30

mm

白重

850

1400

g

電氣接口

D-sub9/可定制

工作泗度

-20-80

℃

屏蔽線纜長(zhǎng)度

2

m

材料

鋁合金


真空(可選)

超真空兼容(5x10”)

mbar

真空版型號(hào):NP-OL-Z-HV

5、適配控制器

JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺(tái) 


關(guān)鍵詞:伺服系統(tǒng)
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