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JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái)

參考價(jià)訂貨量

¥555

≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2026-04-23
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第3年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量652
  • 人氣值140870
產(chǎn)品標(biāo)簽

X軸納米定位掃描平臺(tái)

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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn) 加工定制否
JKZC-ST-X-100 X軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。
JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái) 產(chǎn)品詳情

JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái)

JKZC-ST-X-100 X軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng),通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

光學(xué)對(duì)準(zhǔn)

納米壓印

顯微成像/操縱

光柵刻寫

雙光子聚合

光學(xué)移相

晶圓檢測(cè)

表面檢測(cè)

測(cè)量技術(shù)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

超高定位精度

高動(dòng)態(tài)

無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描


 3、2D尺寸圖


JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái) 

4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-ST-X-100

單位

運(yùn)動(dòng)觸數(shù)

1


驅(qū)動(dòng)類型

壓電陶瓷


閉環(huán)行程

100

μm

分辨率

0.35

nm

定位精座

5

nm

無(wú)負(fù)載諧振頻率

500

Hz

最大負(fù)載

0.5/1/5/定制

kg

傳感器類型

電容傳感器


尺寸(LxWxH)

55x45x18.3

mm

白重

208

g

電氣接口

D-sub9/可定制


工作泗度

-20-80

℃

屏蔽線纜長(zhǎng)度

2

m

材料

鋁合金/鈦合金


真空(可選)

超真空兼容(5x10”)

mbar

*真空版型號(hào):JKZC-ST-X-100-HV

5、適配控制器

JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺(tái) 


關(guān)鍵詞:伺服系統(tǒng)
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