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JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

參考價訂貨量

¥555

≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2026-04-23
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第3年
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量652
  • 人氣值140870
產(chǎn)品標簽

Z軸納米定位掃描平臺

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制否
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺 產(chǎn)品詳情

JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。

JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

1、典型應(yīng)用

光學對準

納米壓印

顯微成像/操縱

光柵刻寫

雙光子聚合

光學移相

晶圓檢測

表面檢測

測量技術(shù)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點

超高定位精度

高動態(tài)

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

多運動模式:定位/掃描

  3、2D尺寸圖

 JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺

4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-ST-Z

單位

運動觸數(shù)

1


驅(qū)動類型

壓電陶瓷


閉環(huán)行程

50

100

200

μm

分辨率

0.35

nm

最小步長

0.5

nm

無負載諧振頻率

800

Hz

運動方向最大負載

5

kg

傳感器類型

電容傳感器


尺寸(LxWxH)

90x36.5x90

mm

白重

685

g

電氣接口

D-sub9/可定制


工作泗度

-20-80

℃

屏蔽線纜長度

2

m

材料

鋁合金/鈦合金


真空(可選)

超真空兼容(5x10”)

mbar

*真空版可選


5、適配控制器

JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺 


關(guān)鍵詞:伺服系統(tǒng)
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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