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JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

參考價(jià)訂貨量

¥555

≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2026-08-31
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第3年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量652
  • 人氣值141611
產(chǎn)品標(biāo)簽

壓電納米

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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn) 加工定制否
JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng),內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),在X軸可實(shí)現(xiàn)達(dá)200μm的位移,可配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。平臺(tái)可以通過(guò)疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動(dòng)。
JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品詳情


JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

 

JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

 

產(chǎn)品介紹:

JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng),內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),在X軸可實(shí)現(xiàn)達(dá)200μm的位移,可配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。平臺(tái)可以通過(guò)疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動(dòng)。

產(chǎn)品特點(diǎn):

1、一維X向運(yùn)動(dòng)         2、行程可達(dá)200μm          3、開(kāi)/閉環(huán)可選

4、真空版本可選         5、可組多維使用

典型應(yīng)用:

1、SPM掃描顯微鏡       2、掩模/晶圓定位        3、表面結(jié)構(gòu)分析

4、生物技術(shù)              5、干涉                 6、計(jì)量

JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

 

 

 

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

尾綴S-閉環(huán)

尾綴K-開(kāi)環(huán)

JKZC60.X200S

JKZC60.X200K

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

X

X


驅(qū)動(dòng)控制

1路驅(qū)動(dòng),1路傳感

1路驅(qū)動(dòng)


標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

160

160

μm±10%

Max.行程范圍(0~150V)

200

200

μm±10%

傳感器

SGS

-


閉/開(kāi)環(huán)分辨率

7

0.2

nm

閉環(huán)線性度

0.02

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.01

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<15

<15

μrad

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

50@20μm,1300g

30

ms±20%

空載諧振頻率

370

370

Hz±20%

帶載諧振頻率@1300g

120

120

Hz±20%

靜電容量

10.8

10.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

℃

承載能力

水平安裝

5

5

kg

立式安裝

3

3

倒置安裝

5

5

材質(zhì)

不銹鋼、鋁合金

不銹鋼、鋁合金


重量

630

630

g±5%

安裝方向

水平安裝

立式安裝

倒置安裝

釋義

   將PZT平臺(tái)水平放置安裝,運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺(tái)的上方,運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。

PS:參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向

 將PZT平臺(tái)立式放置安裝,運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行

PS:存在多種立式安裝方式,技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)承載

將PZT平臺(tái)水平放置,但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺(tái)的下方

示意圖

 JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

 JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

 JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)

備注

當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí),需注意出線口


尺寸圖

 JKZC60.X200系列壓電納米定位臺(tái)



 


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