JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺(低溫真空)

產(chǎn)品簡介
JKZC-611.Z300 是一款 Z 向運(yùn)動(dòng)的壓電納米定位臺,它的行 程可達(dá) 300μm,是專為低溫真空環(huán)境應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、Z 向運(yùn)動(dòng) 2、行程達(dá) 300μm 3、適用于低溫真空應(yīng)用
4、可選閉環(huán)傳感器 5、高精度

產(chǎn)品應(yīng)用
1、表面檢測 2、顯微成像 3、低溫真空 4、半導(dǎo)體加工與測試
技術(shù)參數(shù)
型號 | JKZC-611.Z300S | JKZC-611.Z300S | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)方向 | Z | Z | ||
驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng),1路傳感 | 1 路驅(qū)動(dòng) | ||
標(biāo)稱行程范圍(0 ~120 V) | 240 | 240 | µm±20% | |
Max.行程范圍(0~150V) | 300 | 300 | µm±20% | |
傳感器類型 | SGS,全閉環(huán) | - | ||
分辨率 | 10 | 3 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.5 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.15 | - | %F.S. | |
空載諧振頻率 | 105 | 105 | Hz±20% | |
帶載諧振頻率 | 30(@300g) | 30(@300g) | ||
承載能力 | 水平安裝 | 0.3 | 0.3 | kg |
立式安裝 | 0.02 | 0.02 | ||
倒置安裝 | 0.02 | 0.02 | ||
靜電容量 | 5.4 | 5.4 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鈦 | 鈦 | ||
注:以上參數(shù)是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動(dòng)電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0~120V。
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺水平放置安裝,運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺的上方,運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。 PS:參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向 | 將PZT平臺立式放置安裝,運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行 PS:存在多種立式安裝方式,技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載 | 將PZT平臺水平放置,但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺的下方 |
示意圖 | | | |
備注 | 當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí),需注意出線口 | ||
尺寸圖







































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