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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>專用儀表>其它行業(yè)>其它>JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

參考價(jià)訂貨量

¥555

≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2026-09-08
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第3年
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量651
  • 人氣值136048
產(chǎn)品標(biāo)簽

壓電納米定位臺

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制否
JKZC-611.Z300 是一款 Z 向運(yùn)動(dòng)的壓電納米定位臺,它的行 程可達(dá) 300μm,是專為低溫真空環(huán)境應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)。
JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺 產(chǎn)品詳情

JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺(低溫真空)

JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

 

產(chǎn)品簡介

JKZC-611.Z300 是一款 Z 向運(yùn)動(dòng)的壓電納米定位臺,它的行 程可達(dá) 300μm,是專為低溫真空環(huán)境應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、Z 向運(yùn)動(dòng)            2、行程達(dá) 300μm      3、適用于低溫真空應(yīng)用

4、可選閉環(huán)傳感器      5、高精度

JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

 

產(chǎn)品應(yīng)用

 1、表面檢測     2、顯微成像          3、低溫真空       4、半導(dǎo)體加工與測試     

 

 

 技術(shù)參數(shù)

型號

JKZC-611.Z300S

JKZC-611.Z300S

單位

運(yùn)動(dòng)方向

Z

Z


驅(qū)動(dòng)控制

1路驅(qū)動(dòng),1路傳感

1 路驅(qū)動(dòng)


標(biāo)稱行程范圍(0 ~120 V)

240

240

µm±20%

Max.行程范圍(0~150V)

300

300

µm±20%

傳感器類型

SGS,全閉環(huán)

-


分辨率

10

3

nm

閉環(huán)線性度

0.5

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.15

-

%F.S.

空載諧振頻率

105

105

Hz±20%

帶載諧振頻率

30(@300g)

30(@300g)


承載能力

水平安裝

0.3

0.3

kg

立式安裝

0.02

0.02

倒置安裝

0.02

0.02

靜電容量

5.4

5.4

μF±20%

材質(zhì)

鈦

鈦


注:以上參數(shù)是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動(dòng)電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0~120V。

安裝方向

水平安裝

立式安裝

倒置安裝

釋義

 將PZT平臺水平放置安裝,運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺的上方,運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。

PS:參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向

 將PZT平臺立式放置安裝,運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行

PS:存在多種立式安裝方式,技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載

將PZT平臺水平放置,但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺的下方

示意圖

 JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

 JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

 JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

備注

當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí),需注意出線口

尺寸圖

JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺

 


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