微流控芯片被譽(yù)為 “芯片實(shí)驗(yàn)室”，是生物分析、藥物篩選、臨床診斷領(lǐng)域技術(shù)革新的核心載體，而芯片模具的加工精度與品質(zhì)，直接決定微流控芯片最終性能。在微流控芯片研發(fā)試制過程中，傳統(tǒng)光刻工藝常常面臨諸多技術(shù)瓶頸，制約項(xiàng)目推進(jìn)與產(chǎn)品良率提升。

側(cè)壁形貌達(dá)不到工藝標(biāo)準(zhǔn)？ 

微流控芯片對模具側(cè)壁品質(zhì)有著嚴(yán)苛要求，只有側(cè)壁陡直、無倒角、無毛刺，才能保障微通道內(nèi)流體穩(wěn)定流動，規(guī)避死區(qū)積液問題，同時實(shí)現(xiàn)細(xì)胞捕獲腔的精準(zhǔn)定位。傳統(tǒng)接觸式光刻中，掩模版與光刻膠直接貼合，曝光過程不可避免產(chǎn)生光散射與衍射現(xiàn)象，極易造成模具側(cè)壁陡直度差，后續(xù)出現(xiàn)粘版、脫模困難等缺陷，直接拉低芯片良率。

托托科技 BIO 機(jī)型無掩模光刻機(jī)，可實(shí)現(xiàn)近乎垂直的光刻膠側(cè)壁，線條輪廓銳利清晰。既提升模具本身耐用度，也從源頭保障微流控芯片批次一致性與使用可靠性。

高深寬比微結(jié)構(gòu)加工難度大？ 

高深寬比微結(jié)構(gòu)是實(shí)現(xiàn)高通量細(xì)胞篩選、微量試劑存儲傳輸、復(fù)雜流體路徑設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)，也是生物分析、臨床診斷芯片的核心設(shè)計(jì)要素。 傳統(tǒng)有掩模光刻受光刻膠厚度、曝光均勻性限制，高深寬比結(jié)構(gòu)制作難度高、成品良率低，難以匹配當(dāng)下精密生物器件研發(fā)與實(shí)驗(yàn)的使用需求。

托托科技 BIO 機(jī)型無掩模光刻機(jī)搭載高準(zhǔn)直性專屬光學(xué)系統(tǒng)，能夠有效抑制光散射影響，穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)超高深寬比微結(jié)構(gòu)加工。

曝光效率低下，耗費(fèi)大量時間成本？ 

市面多數(shù)光刻設(shè)備光源能量密度有限，曝光耗時久。長時間曝光不僅降低整體加工效率，還會引發(fā)光刻膠理化性能偏移，進(jìn)一步損害模具加工質(zhì)量。

BIO 機(jī)型配置高性能光源，具備更高能量密度，顯著縮短曝光周期，加工效率大幅提升。

掩模版制作周期長、迭代成本居高不下？ 

傳統(tǒng)微流控芯片模具依賴有掩模光刻工藝，需要先行定制掩模版。每一次方案修改，都需要重新制版，設(shè)計(jì)驗(yàn)證周期冗長，研發(fā)成本居高不下。

如果您正被以上痛點(diǎn)困擾，托托科技面向生命科學(xué)行業(yè)定制開發(fā)的 BIO 機(jī)型無掩模光刻機(jī)，將是突破研發(fā)瓶頸的理想方案。

BIO 機(jī)型：微流控芯片模具制備的優(yōu)選方案

設(shè)備針對生命科學(xué)領(lǐng)域主流 SU?8 光刻膠及各類厚膠工藝完成深度優(yōu)化，依托優(yōu)異光學(xué)系統(tǒng)與精密曝光劑量控制，可穩(wěn)定制備側(cè)壁陡直、形貌可控的超高深寬比微結(jié)構(gòu)，充分滿足微流體通道、細(xì)胞捕獲腔等復(fù)雜功能結(jié)構(gòu)的加工需求。

? 支持600μm 厚膠光刻，曝光均勻，顯影效果精準(zhǔn)可控

? 可實(shí)現(xiàn)10:1 超高深寬比微結(jié)構(gòu)，圖形線條銳利，輪廓規(guī)整

? 曝光效率百倍提升，實(shí)現(xiàn)高效曝光、極速成型

? 無掩模直寫，圖形文件直接導(dǎo)入即可曝光，擺脫掩模版束縛

無需制作實(shí)體掩模版，CAD 設(shè)計(jì)圖形直接導(dǎo)入設(shè)備即可完成曝光作業(yè)。原型迭代、方案驗(yàn)證更加靈活高效，研發(fā)構(gòu)想快速落地，不再受制版周期牽制。

精準(zhǔn)賦能，拓展生命科學(xué)研究新邊界

托托科技 BIO 機(jī)型 無掩模光刻機(jī)，不止是光刻設(shè)備性能的升級，更是微流控研發(fā)與小批量制備流程的革新。在保障優(yōu)異圖形加工質(zhì)量的同時，賦予研發(fā)更高的設(shè)計(jì)自由度，為生命科學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新研究提供堅(jiān)實(shí)的 “芯” 支撐。

選擇托托科技 BIO 機(jī)型，共同開啟微流控芯片高效、高精度制造新篇章。