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上海光機(jī)所提出類液體超滑介電表面新策略助力提升光電薄膜器件性能

研發(fā)快訊 2025年10月31日 11:48:26來源:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 15152
摘要中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所創(chuàng)新性地將類液體超滑表面——一類具有超低接觸角遲滯的特殊超潤(rùn)濕界面應(yīng)用于FET器件界面修飾中,替代傳統(tǒng)的OTS修飾層,顯著提升了器件的載流子遷移率,開辟了界面調(diào)控新思路。

  【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】近日,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光元件技術(shù)與工程部研究團(tuán)隊(duì),在光電薄膜器件的界面工程領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。相關(guān)成果以“Liquid-like slippery dielectric surfaces boosting electrical performance of organic field-effect transistors”為題,發(fā)表于Applied Surface Science。
 
  場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)型光探測(cè)器,是柔性電子與神經(jīng)形態(tài)計(jì)算等前沿技術(shù)的關(guān)鍵器件,其界面特性嚴(yán)重影響器件電性能。傳統(tǒng)界面工程使用十八烷基三氯硅烷(ODTS/OTS)分子修飾介電層表面,只聚焦其高靜態(tài)疏水性,而忽略了動(dòng)態(tài)潤(rùn)濕性對(duì)上層半導(dǎo)體薄膜的生長(zhǎng)與電荷傳輸?shù)挠绊?,?dǎo)致領(lǐng)域內(nèi)半導(dǎo)體薄膜質(zhì)量和器件電性能提升空間受限。
 
  本研究創(chuàng)新性地將類液體超滑表面——一類具有超低接觸角遲滯的特殊超潤(rùn)濕界面應(yīng)用于FET器件界面修飾中,替代傳統(tǒng)的OTS修飾層,顯著提升了器件的載流子遷移率,開辟了界面調(diào)控新思路。研究系統(tǒng)探索了類液體超滑表面對(duì)Ph-BTBT-12有機(jī)半導(dǎo)體薄膜生長(zhǎng)與器件性能的調(diào)控作用。研究結(jié)果表明,超滑表面不僅具備高靜態(tài)疏水性,更因其優(yōu)異的滑動(dòng)性能(動(dòng)態(tài)潤(rùn)濕性),顯著促進(jìn)了鍍膜過程中有機(jī)半導(dǎo)體分子的有序堆疊,誘導(dǎo)形成大尺寸、高度取向的晶態(tài)區(qū)域,提升了半導(dǎo)體薄膜層質(zhì)量(圖1)。經(jīng)熱退火后,發(fā)生SmE相液晶到晶體的相變,進(jìn)一步提升半導(dǎo)體層的有序度以及器件的載流子遷移率(圖2)。其中一種超滑表面修飾的OFET器件遷移率達(dá)3.90 cm2·V–1·s–1,幾乎是傳統(tǒng)OTS修飾器件的三倍。值得注意的是,即便未經(jīng)熱退火,超滑表面修飾的器件遷移率(2.54 cm2·V–1·s–1)仍顯著優(yōu)于OTS處理器件熱退火后的遷移率(1.44 cm2·V–1·s–1)。該研究揭示了表面動(dòng)態(tài)潤(rùn)濕性在調(diào)控有機(jī)半導(dǎo)體薄膜形貌與晶體結(jié)構(gòu)中的關(guān)鍵作用,為高性能半導(dǎo)體器件的界面設(shè)計(jì)提供了新思路。
 
  該工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金等項(xiàng)目的支持。
 
  圖1 (a)表面動(dòng)態(tài)潤(rùn)濕性能,(b)上層Ph-BTBT-12半導(dǎo)體分子的自組裝行為(上:使用類液體超滑表面;下:使用OTS普通疏水表面),以及(c)半導(dǎo)體分子的層層自組裝截面高度圖。
 
  圖2 Ph-BTBT-12半導(dǎo)體分子在超滑表面的(a)組裝機(jī)理;(b)熱退火相變行為(左:XRR曲線;右:相變示意圖)

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