SRU系統(tǒng)主要用于面板涂布工藝中的有機(jī)溶劑回收，SRU有機(jī)溶劑自動(dòng)回收系統(tǒng)回收并純化COATER VCD抽取的廢氣，將冷凝回收來的液態(tài)PGMEA溶劑重新使用在涂布機(jī)噴頭的清洗過程中，有效的回收再利用原本棄置不用的廢液。該系統(tǒng)與廠務(wù)上下游設(shè)備對(duì)接，高效率回收并純化上游設(shè)備排出的廢液并將其供給下游設(shè)備進(jìn)行工藝作業(yè)。該系統(tǒng)具備供液功能、排廢液功能、液體取樣功能和廢渣采集等功能。