WS-ALN100/150倒片機(jī)中包含1臺6軸機(jī)械手組件，設(shè)備前端設(shè)有6個Loadport工位，每3個對應(yīng)1個腔室。設(shè)有2個Buffer工位，每個Buffer上可以放19片Wafer對應(yīng)1個腔室中的4寸Wafer，2個冷卻工位分別對應(yīng)左右2個腔室。在目前的機(jī)構(gòu)形式下的Tack Time時間為≤10s,具備較高的稼動率水平。