在先進(jìn)半導(dǎo)體與LED器件的研發(fā)及量產(chǎn)環(huán)節(jié)，刻蝕形貌、薄膜臺階的三維測量是質(zhì)量管控的核心依據(jù)。中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉高精度光學(xué)輪廓儀，深度適配LED刻蝕表面三維測量、超薄介質(zhì)膜檢測、微孔陣列批量統(tǒng)計等核心場景，從實驗室研發(fā)驗證到車間產(chǎn)線抽檢，均能穩(wěn)定輸出高置信度數(shù)據(jù)。

針對樣件表面高反光介質(zhì)層與低反光刻蝕底材共存的復(fù)雜情況，設(shè)備搭載EPSI復(fù)合掃描算法，單次掃描即可同步完成高低反射率區(qū)域成像，無需人工反復(fù)調(diào)節(jié)光源參數(shù)；內(nèi)置千赫茲級環(huán)境噪聲監(jiān)測系統(tǒng)，配合閉環(huán)伺服補償算法，可有效屏蔽車間機械振動、溫濕度波動帶來的納米級臺階高度環(huán)境漂移，無需依賴昂貴的外部氣浮減振臺，在真實工業(yè)現(xiàn)場即可維持實驗室級測量精度。

無論是0.07μm超薄臺階的精細(xì)表征，還是122μm大孔徑陣列的批量檢測，中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉高精度光學(xué)輪廓儀都能提供穩(wěn)定的三維形貌數(shù)據(jù)支撐，助力企業(yè)加速工藝參數(shù)迭代，縮減研發(fā)與檢測工時。

【測量精度指標(biāo)】

- 測量重復(fù)性：0.1nm（納米級三維重建的穩(wěn)定性保障）

- 垂直掃描范圍：納米級至百微米級跨尺度覆蓋

- 支持標(biāo)準(zhǔn)：ISO / ASME / EUR / GBT 四大體系，內(nèi)置300余種2D/3D形位參數(shù)

【抗環(huán)境干擾系統(tǒng)】

- 硬件端：高剛性隔振結(jié)構(gòu)設(shè)計，過濾地基低頻振動

- 算法端：深度相位解卷算法，精準(zhǔn)剝離氣流與聲波噪聲

- 采集端：高頻干涉條紋捕捉技術(shù)，縮短采樣窗口減少擾動累積

- 效果：普通車間環(huán)境下仍能輸出無畸變的納米級形貌數(shù)據(jù)

【光學(xué)與掃描系統(tǒng)】

- 寬譜白光光源，相干長度精準(zhǔn)控制

- 壓電陶瓷（PZT）精密Z軸驅(qū)動，納米級步進(jìn)

- 多倍率干涉物鏡可選，適配不同視場與分辨率需求

- 高分辨率數(shù)字成像 + 亞像素解算

【軟件與數(shù)據(jù)】

- 一鍵生成Sa、Sq、Sz等全套3D粗糙度參數(shù)

- 三維形貌可視化、截面分析、缺陷識別功能齊全

- 自定義報告模板，支持PDF/Excel多格式導(dǎo)出

- 支持產(chǎn)線數(shù)據(jù)對接，可集成至MES系統(tǒng)

參數(shù)不虛標(biāo)，現(xiàn)場見真章。歡迎帶樣品來實測車間環(huán)境下的真實表現(xiàn)。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實時更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。