從實驗室到生產(chǎn)一線——SuperView W1非接觸式白光干涉輪廓儀的4大工業(yè)落地場景。
很多白光干涉儀只能待在恒溫超凈實驗室里,樣品搬來搬去效率低,還容易引入二次污染。中圖儀器SuperView W1憑借強(qiáng)抗干擾設(shè)計,實現(xiàn)了從研發(fā)端到生產(chǎn)端的全場景覆蓋:
① 半導(dǎo)體晶圓制造——產(chǎn)線級在線抽檢
晶圓拋光后需要快速確認(rèn)表面粗糙度,傳統(tǒng)方案要送中心實驗室,周期長、影響良率迭代。SuperView W1抗振動抗氣流,可部署在車間內(nèi)就近檢測,0.1nm重復(fù)性保障數(shù)據(jù)可靠性,助力工藝快速閉環(huán)。
② 光通信器件加工——超光滑表面質(zhì)控
微透鏡陣列、光纖端面等超光滑表面,粗糙度要求達(dá)到亞納米級。車間環(huán)境的微小振動就讓普通干涉儀數(shù)據(jù)失真。SuperView W1的靶向降噪算法,確保極限生產(chǎn)現(xiàn)場也能輸出無畸變形貌特征。
③ MEMS微納結(jié)構(gòu)——封裝工序缺陷排查
MEMS器件結(jié)構(gòu)脆弱,又需要在封裝前后做形貌檢測。非接觸光學(xué)測量+抗環(huán)境干擾設(shè)計,直接在封裝線旁完成檢測,避免反復(fù)搬運損壞微結(jié)構(gòu)。
④ 精密光學(xué)透鏡——出廠全檢提效率
光學(xué)透鏡表面質(zhì)量要求嚴(yán)苛,每一片都要檢。SuperView W1支持四大標(biāo)準(zhǔn)體系(ISO/ASME/EUR/GBT),300余種形位參數(shù)一鍵輸出,質(zhì)檢報告直接導(dǎo)出,效率翻倍。
一臺設(shè)備打通研發(fā)與生產(chǎn),數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一,不用反復(fù)對標(biāo)校準(zhǔn)。歡迎咨詢現(xiàn)場部署方案。
SuperView W1非接觸式白光干涉輪廓儀的產(chǎn)線經(jīng)濟(jì)性:
- 抗振動抗氣流設(shè)計:普通車間就能用,省下超凈間基建費
- 國產(chǎn)化定價:同等性能比進(jìn)口低30%以上,產(chǎn)線多點部署壓力小
- 本土工程師快速響應(yīng):現(xiàn)場問題48小時上門,減少停機(jī)損失
- 軟件免費升級:算法持續(xù)優(yōu)化,設(shè)備越用越強(qiáng),沒有年費
注:產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實時更新,具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn),詳情可咨詢客服獲取完整資料。







































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