高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù),提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級(jí)分辨率,擁有的可拓展性和可集成性。
1、典型應(yīng)用
樣品檢驗(yàn)
精密微組裝
光路切換
顯微及納米CT
機(jī)器視覺
半導(dǎo)體檢測
2、技術(shù)特點(diǎn)
高精度、高穩(wěn)定性
高運(yùn)動(dòng)速度
輕量化設(shè)計(jì)且結(jié)構(gòu)緊湊
支持開環(huán)和閉環(huán)模式
超高真空兼容性
可提供軸心補(bǔ)償模塊抑制軸心晃動(dòng)
高可靠性及模塊化設(shè)計(jì),摩擦單元可替換
滿足各種應(yīng)用場景
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-RP-100C | 單位 | |
傳感器類型 | 絕對(duì)式光柵編碼器 | |
行程 | 360 (θZ) | ° |
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | |
豎直最大負(fù)載 | 4 | kg |
最小步長 | 0.4 | μrad |
單向重復(fù)定位精度(@360°) | ±1.5 | μrad |
雙向重復(fù)定位精度(@360°) | ±2.5 | μrad |
轉(zhuǎn)動(dòng)力矩 | 0.3 | Nm |
尺寸 | φ100x17 | mm |
工作溫度 | 10-50 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x109) | mbar |
5、適配控制器




































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