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公司介紹主營產(chǎn)品

北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司是一家主要是從事精密儀器設(shè)備，安全控制設(shè)備，計(jì)量檢測設(shè)備，科學(xué)研究設(shè)備，3D打印及空間技術(shù)的研發(fā)和銷售的高科技公司，我們將同國內(nèi)單位和高等院校合作，服務(wù)于國內(nèi)和國外廣大客戶，我們將提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)服務(wù)，共同開拓進(jìn)取。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

高精度晶圓對位平臺(tái)采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度晶圓對位平臺(tái) 產(chǎn)品詳情

高精度晶圓對位平臺(tái)

高精度晶圓對位平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

納米壓印技術(shù)

顯微操作

視覺伺服

激光加工

光學(xué)對準(zhǔn)測量

微電子制造業(yè)

2、技術(shù)特點(diǎn)

高精度、高穩(wěn)定性

大偏轉(zhuǎn)角度

承載大

內(nèi)置超精密光柵位移傳感器實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)解耦控制

響應(yīng)速度快

剛度高

頻率高

3、2D尺寸圖

高精度晶圓對位平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-XYR-10B	單位
運(yùn)動(dòng)軸	X,Y,θZ
驅(qū)動(dòng)類型	音圈電機(jī)
X/Y閉環(huán)行程	±10/±10	mm
θZ偏轉(zhuǎn)角度	±3	°
豎直最大負(fù)載	10	kg
閉環(huán)分辨率	12.5	nm
最小步長	100/100	nm
最小轉(zhuǎn)動(dòng)分辨率	1.4	μrad
無負(fù)載諧振頻率	160	HZ
傳感器類型	光柵編碼器(玻璃光柵)
自重	22	kg
尺寸(LxWxH)	380x380x85	mm
工作溫度	-20-100	℃
電氣接口	D-sub9
線纜長度	2	m
真空(可選)	超真空兼容(5x10)	mbar

5、適配控制器

高精度晶圓對位平臺(tái)

關(guān)鍵詞：位移傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
無線靜態(tài)應(yīng)變測試系統(tǒng)	面議	西安市	西安環(huán)測自動(dòng)化技術(shù)有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
煙hua爆zhu碰撞試驗(yàn)臺(tái) 工程師現(xiàn)場培訓(xùn)	￥710000	上海市	上海徽濤自動(dòng)化設(shè)備有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
全自動(dòng)呼吸器綜合檢測儀	￥850000	上海市	上海誠衛(wèi)儀器科技有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
燃油無齒鋸庫號(hào)：M415761	￥4360	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
Altum-PT航測多光譜熱像儀植被指數(shù)同步采集	面議	深圳市	深圳市鵬錦科技有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)
TACMINA自動(dòng)氯注入裝置TCM-0	￥8590	重慶市	重慶津澤機(jī)電科技有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)

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