單軸長行程壓電滑臺
單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù),具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。
1、典型應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動光學(xué)
超分辨成像樣品移動
大范圍電子束直寫(EBL
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術(shù)特點(diǎn)
長行程:10/20mm
高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm
超高精度:最小步長2nm
運(yùn)動速度:可達(dá)5mm/s
超高真空兼容性
運(yùn)動模式:支持開環(huán)與閉環(huán)
輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊,高可靠性
模塊化設(shè)計(jì),摩擦單元可替換
高穩(wěn)定性:保持力可達(dá)5N
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-NL-1720 | JKZC-NL-1720 | 單位 | |
運(yùn)動軸數(shù) | 1 | ||
行程 | 10 | 20 | mm |
保持力(Force) | 1.5 | 1.5 | N |
最大承載力(Load) | 20(垂直方向) | 20(垂直方向) | N |
尺寸(LxWxH) | 22x23x10.5 | 30x23x10.5 | mm |
自重 | 165 | 260 | g |
最大速度 | 5 | mm/s | |
分辨率 | 1.22 | nm | |
最小步長 | 2 | um | |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺) | ||
電氣接口 | D-sub9(可定制) | ||
線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar | |
5、適配控制器




































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