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產品簡介在線詢價

產地	國產	加工定制	否

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺產品詳情

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺

1、典型應用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動光學

超分辨成像樣品移動

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測

高真空樣品精度對準及調姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術特點

超長行程:36mm

高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm

超高精度:最小步長2nm

運動速度:可達5mm/s

超高真空兼容性

運動模式:支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結構緊湊，高可靠性

模塊化設計，摩擦單元可替換

3、2D尺寸圖

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-X-36A	單位
運動軸數(shù)	1
行程	36	mm
保持力(Force)	1	N
最大承載力(Load)	20	N
尺寸(LxWxH)	70x70x12.5	mm
自重	150	g
最大速度	5	mm/s
分辨率	1.22	nm
最小步長	2	nm
傳感器類型	光柵編碼器(玻璃柵尺)
電氣接口	D-sub9(可定制）
線纜長度	1	m
材料	鋁合金/鈦合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10”)	mbar

5、適配控制器

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺

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