還在為“分辨率不足，納米級微觀形貌無法量化”“多材質(zhì)測量需頻繁換設備，效率低下”煩惱嗎？作為深耕超精密測量領域的專業(yè)國內(nèi)白光干涉儀品牌廠家，中圖儀器憑借自主研發(fā)的SuperView W系列，依托白光干涉技術(shù)與復合型EPSI重建算法，粗糙度RMS重復性低至0.005nm，形貌重復性達0.1nm，輪廓度（臺階測量）準確度僅0.3%。

SuperView W國內(nèi)白光干涉儀品牌搭配氣浮隔振底座與0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價功能，即便在車間振動環(huán)境中，連續(xù)10次測量數(shù)據(jù)偏差仍＜0.001nm，為工藝優(yōu)化提供可信的量化依據(jù)。

一、能解決哪些測量難點？

二、有哪些產(chǎn)品特點？

1.超精密數(shù)據(jù)，奠定工藝優(yōu)化基石

0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復性，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標準。無論是納米級臺階高度、微觀幾何輪廓，還是超光滑表面粗糙度，均能精準量化，為工藝調(diào)整提供可信的量化依據(jù)，某半導體企業(yè)應用后，因測量誤差導致的返工率降低18%。

2.高速掃描，效率精度雙在線

突破“高分辨率必低速度”的行業(yè)瓶頸，W1-Ultra型號在0.1nm分辨率下，掃描速度高達8μm/s，是傳統(tǒng)同類設備的4倍以上；支持單/多區(qū)域一鍵測量、陣列式批量檢測，搭配編程預設流程，實現(xiàn)“無人值守”自動化操作。某3C電子代工廠檢測手機玻璃屏微觀形貌時，日均檢測量從200片提升至550片，檢測效率提升175%。

3.全場景適配+抗干擾，復雜環(huán)境穩(wěn)輸出

單掃描模式全覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，無需更換模塊或耗材；配備氣浮式隔振底座與0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價功能，可定量檢測外界干擾并有效隔離，即便在車間振動環(huán)境中，仍能保持數(shù)據(jù)穩(wěn)定。某光學加工企業(yè)反饋，設備在車間常態(tài)環(huán)境下運行，測量數(shù)據(jù)波動＜0.002nm，滿足元件生產(chǎn)要求。

4.智能化操作+安全防護，降低運維成本

集成式操縱桿可控制所有位置軸、速度及光源亮度，新手培訓1天即可獨立操作；雙重鏡頭防撞保護（軟件ZSTOP+彈簧回縮結(jié)構(gòu)）+光源無人值守自動熄燈設計，設備年損耗率降至2%以下，光源使用壽命延長3年，維護成本較傳統(tǒng)設備降低60%。

三、應用領域圖片

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實際交付為準，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級調(diào)整相關內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。

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