THEORIS A302 12英寸立式低溫退火爐

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型號THEORISA302
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2317

產(chǎn)品標簽

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北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導體基礎產(chǎn)品領域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產(chǎn)品領域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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THEORISA30212英寸立式低溫退火爐THEORISA30212Inch VerticalLow-TempAnnealFurnaceTHEORISA302立式退火爐在中低溫條件下，通入N?、H?或D?等氣體，以消除硅片界面處金屬及非金屬晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質(zhì)量，提升器件良率

12英寸立式低溫退火爐產(chǎn)品詳情

THEORIS A302 12英寸立式低溫退火爐

THEORIS A302 12 Inch Vertical Low-Temp Anneal Furnace

THEORIS A302立式退火爐在中低溫條件下，通入N?、H?或D?等氣體，以消除硅片界面處金屬及非金屬晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質(zhì)量，提升器件良率。該系統(tǒng)具備高精度的溫度控制系統(tǒng)、良好的金屬控制能力、高穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)以及安全的特氣處理裝置，兼顧了良好的工藝指標、高產(chǎn)能和安全可靠性。

設備特點

的壓力控制系統(tǒng)
高精度溫度場控制技術
的顆粒控制技術
可靠的氫氣工藝能力技術
大產(chǎn)能

產(chǎn)品應用

晶圓尺寸
12英寸
適用材料
硅
適用工藝
低溫常/低壓工藝、合金、金屬/非金屬退火、薄片退火
適用領域
集成電路、封裝、功率半導體、硅基微型顯示

關鍵詞：控制系統(tǒng)

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