THEORIS A302C 12英寸立式PI固化爐

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型號THEORISA302C
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產品數(shù)量115
人氣值2317

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北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉型；致力于成為半導體基礎產品領域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產品領域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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THEORISA302C12英寸立式PI固化爐THEORISA302C12InchVerticalPolyimideCureFurnaceTHEORISA302C立式退火爐在中低溫條件下，通入N?、H?或D?等氣體，消除硅片界面處金屬及非金屬晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質量，提升器件良率

12英寸立式PI固化爐產品詳情

THEORIS A302C 12英寸立式PI固化爐

THEORIS A302C 12 Inch Vertical Polyimide Cure Furnace

THEORIS A302C立式退火爐在中低溫條件下，通入N?、H?或D?等氣體，消除硅片界面處金屬及非金屬晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質量，提升器件良率。該退火設備提供高精度的溫度控制算法、嚴格的金屬控制指標、穩(wěn)定的傳輸控制系統(tǒng)以及安全的特氣處理裝置等解決方案，兼顧了工藝目標的實現(xiàn)與生產可靠性的保障。

設備特點

高精度溫度場控制技術
的顆?？刂萍夹g
高效的副產物收集技術
的氧含量控制技術

產品應用

晶圓尺寸
12英寸
適用材料
硅
適用工藝
PI膠固化
適用領域
集成電路、功率半導體

關鍵詞：控制系統(tǒng)

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