- 設(shè)備特點(diǎn)
-
- 的顆??刂萍夹g(shù)
- 的金屬污染控制技術(shù)
- 高精度溫度場(chǎng)控制技術(shù)
- 支持快速升/降溫度技術(shù)
- 高產(chǎn)能
- 產(chǎn)品應(yīng)用
-
- 晶圓尺寸12英寸
- 適用材料硅
- 適用工藝高溫干/濕氧氧化、DCE氧化、摻氮氧化、高溫退火
- 適用領(lǐng)域集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料




































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