THEORIS X302P 12英寸立式中溫氧化爐

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型號THEORISX302P
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2430

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公司介紹主營產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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THEORISX302P12英寸立式中溫氧化爐THEORISX302P12InchVerticalMid-TempOxidationFurnaceTHEORISX302P主要用于12英寸600℃-1000℃氧化及退火工藝

12英寸立式中溫氧化爐產(chǎn)品詳情

THEORIS X302P 12英寸立式中溫氧化爐

THEORIS X302P 12 Inch Vertical Mid-Temp Oxidation Furnace

THEORIS X302P主要用于12英寸600℃-1000℃氧化及退火工藝。該機臺為立式單腔爐管系統(tǒng)，工藝處理過程實現(xiàn)了高度自動化。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。

設(shè)備特點

顆?？刂萍夹g(shù)
高精度溫度場控制技術(shù)
的微環(huán)境氧含量控制技術(shù)
高產(chǎn)能

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
12英寸
適用材料
硅
適用工藝
干氧氧化、濕氧氧化、DCE氧化、摻氮氧化、退火
適用領(lǐng)域
集成電路、功率半導體、襯底材料

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