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合肥物質院科研團隊首次承擔合肥市“揭榜掛帥”科技重大專項

產(chǎn)業(yè)報道 2023年03月06日 13:30:44來源:合肥物質院 張金、凌明椿 12508
摘要合肥物質院安光所光學遙感中心科研團隊申報的“集成電路高精密套刻檢測光學系統(tǒng)研制及應用”項目成功上榜,獲最高資助經(jīng)費500萬元。

  【儀表網(wǎng) 產(chǎn)業(yè)報道】近日,合肥市科技局發(fā)布了2022年度第一批市科技重大專項“揭榜掛帥”項目立項名單(共9項),合肥物質院安光所光學遙感中心科研團隊申報的“集成電路高精密套刻檢測光學系統(tǒng)研制及應用”項目成功上榜,獲最高資助經(jīng)費500萬元。
 
  項目團隊聚焦半導體前道檢測的關鍵技術問題,瞄準該領域骨干企業(yè)急需的高精密光學測量系統(tǒng)核心技術需求,發(fā)揮多學科交叉及工程設計優(yōu)勢,針對照明、成像和測焦三大模塊技術指標和任務,開展套刻量測設備中核心光學系統(tǒng)的研制,首次承擔“集成電路高精密套刻測量光學系統(tǒng)研制及應用”揭榜掛帥項目。
 
  據(jù)悉,合肥市“揭榜掛帥”項目是針對科技發(fā)展戰(zhàn)略重大問題和基礎研究、核心技術薄弱環(huán)節(jié),采取的科技創(chuàng)新舉措,有利于激發(fā)科技創(chuàng)新主體和廣大科技人員的創(chuàng)造潛能和創(chuàng)新效能,從而提高科技攻關的質量和效率。
 

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